基本信息:
- 专利标题： 用以固持晶圓狀物件之裝置
- 专利标题（英）：Device for holding wafer shaped articles
- 专利标题（中）：用以固持晶圆状对象之设备
- 申请号：TW103118885 申请日：2014-05-29
- 公开(公告)号：TW201508860A 公开(公告)日：2015-03-01
- 发明人： 格萊斯勒 安得羅斯 , GLEISSNER, ANDREAS , 渥恩斯伯格 湯瑪士 , WIRNSBERGER, THOMAS
- 申请人： 蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
- 专利权人： 蘭姆研究股份公司,LAM RESEARCH AG
- 当前专利权人： 蘭姆研究股份公司,LAM RESEARCH AG
- 代理人： 許峻榮
- 优先权： 13/935,068 20130703
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683
摘要：
本發明關於一種用以固持一晶圓狀物件之裝置，包含一環形夾盤基體，該環形夾盤基體具有用以固定一晶圓狀物件至該環形夾盤基體之複數可移動式接觸元件，以及將該等接觸元件共同驅動於一第一位置及一第二非接觸位置之間的一齒輪機構，其中於該第一位置時，該等接觸元件接觸設置於該裝置上之一晶圓狀物件。該環形夾盤基體包含一外罩，該外罩係由耐受強無機酸之侵蝕的一材料所製成，且該環形夾盤基體包含一加強環，該加強環係裝配於該外罩內且由一材料所形成，該材料之線性熱膨脹係數係實質上小於該外罩材料之線性熱膨脹係數。
摘要（中）：
本发明关于一种用以固持一晶圆状对象之设备，包含一环形夹盘基体，该环形夹盘基体具有用以固定一晶圆状对象至该环形夹盘基体之复数可移动式接触组件，以及将该等接触组件共同驱动于一第一位置及一第二非接触位置之间的一齿轮机构，其中于该第一位置时，该等接触组件接触设置于该设备上之一晶圆状对象。该环形夹盘基体包含一外罩，该外罩系由耐受强无机酸之侵蚀的一材料所制成，且该环形夹盘基体包含一加强环，该加强环系装配于该外罩内且由一材料所形成，该材料之线性热膨胀系数系实质上小于该外罩材料之线性热膨胀系数。
摘要（英）：
A device for holding a wafer-shaped article comprises an annular chuck base body having a plurality of movable contact elements for securing a wafer-shaped article to the annular chuck base body, and a gear mechanism driving the contact elements in unison between a first position and a second position. The annular chuck base body comprises a housing formed from a material that is resistant to attack by strong inorganic acids. The annular chuck base body also comprises a reinforcing ring fitted within the housing and formed from a material whose coefficient of linear thermal expansion is substantially less than that of the housing material.
公开/授权文献:
- TWI614838B 用以固持晶圓狀物件之裝置 公开/授权日：2018-02-11