基本信息:
- 专利标题： 導電性鈣鋁石化合物燒結體、濺鍍用靶及導電性鈣鋁石化合物燒結體之製造方法
- 专利标题（英）：Conductive mayenite compound sintered compact, sputtering target, and method for producing conductive mayenite compound sintered compact
- 专利标题（中）：导电性钙铝石化合物烧结体、溅镀用靶及导电性钙铝石化合物烧结体之制造方法
- 申请号：TW101137024 申请日：2012-10-05
- 公开(公告)号：TW201319007A 公开(公告)日：2013-05-16
- 发明人： 伊藤和弘 , ITO, KAZUHIRO , 渡邊俊成 , WATANABE, TOSHINARI , 渡邊曉 , WATANABE, SATORU , 宮川直通 , MIYAKAWA, NAOMICHI
- 申请人： 旭硝子股份有限公司 , ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED
- 专利权人： 旭硝子股份有限公司,ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED
- 当前专利权人： 旭硝子股份有限公司,ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED
- 代理人： 陳長文
- 优先权： 2011-223028 20111007
- 主分类号： C04B35/622
- IPC分类号： C04B35/622 ; C23C14/34 ; H01B1/06
摘要：
本發明係一種導電性鈣鋁石化合物燒結體之製造方法，其特徵在於包括如下步驟：(1)準備以12.6：6.4~11.7：7.3(換算成CaO：Al2O3之莫耳比)之比例包含氧化鈣與氧化鋁之預燒粉；(2)準備包含於上述步驟(1)中所準備之預燒粉之成形體；以及(3)將於上述步驟(2)中所準備之成形體於還原性環境下保持於1280℃~1350℃之範圍內之溫度；藉此可獲得相對密度為90%以上，且最小尺寸為5mm以上之導電性鈣鋁石化合物燒結體。
摘要（中）：
本发明系一种导电性钙铝石化合物烧结体之制造方法，其特征在于包括如下步骤：(1)准备以12.6：6.4~11.7：7.3(换算成CaO：Al2O3之莫耳比)之比例包含氧化钙与氧化铝之预烧粉；(2)准备包含于上述步骤(1)中所准备之预烧粉之成形体；以及(3)将于上述步骤(2)中所准备之成形体于还原性环境下保持于1280℃~1350℃之范围内之温度；借此可获得相对密度为90%以上，且最小尺寸为5mm以上之导电性钙铝石化合物烧结体。
摘要（英）：
Provided is a method for producing a conductive mayenite compound sintered compact, characterized in that the production method comprises (1) a step for preparing a calcined powder containing calcium oxide and aluminum oxide at a ratio between 12.6:6.4 and 11.7:7.3 (molar ratio in terms of CaO:Al2O3), (2) a step for preparing a molded article containing the calcined powder prepared by step (1), and (3) a step for maintaining the molded article prepared by step (2) at a temperature between 1,280 C and 1,350 C under a reducing atmosphere, and as a result, a conductive mayenite compound sintered compact having a relative density of 90% or greater and a minimum dimension of 5 mm or greater is obtained.