基本信息:
- 专利标题： 靜電夾頭及半導體／液晶製造設備
- 专利标题（英）：Electrostatic chuck and semiconductor/liquid crystal manufacturing equipment
- 专利标题（中）：静电夹头及半导体／液晶制造设备
- 申请号：TW101124751 申请日：2012-07-10
- 公开(公告)号：TW201310564A 公开(公告)日：2013-03-01
- 发明人： 白岩則雄 , SHIRAIWA, NORIO
- 申请人： 新光電氣工業股份有限公司 , SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
- 专利权人： 新光電氣工業股份有限公司,SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
- 当前专利权人： 新光電氣工業股份有限公司,SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
- 代理人： 惲軼群; 陳文郎
- 优先权： 2011-184285 20110826
- 主分类号： H01L21/67
- IPC分类号： H01L21/67 ; H01L21/68
摘要：
一種靜電夾頭包括：一夾頭作用部份包括多數夾頭區域於其上分別放置可吸引物體，以及一凹面部份設置在該等夾頭區域之一外區域中；及，多數電極，其分別配置在對應於該等夾頭區域之該夾頭作用部份之一內部份中，以及對應於該凹面部份之該夾頭作用部份之一內部份中。
摘要（中）：
一种静电夹头包括：一夹头作用部份包括多数夹头区域于其上分别放置可吸引物体，以及一凹面部份设置在该等夹头区域之一外区域中；及，多数电极，其分别配置在对应于该等夹头区域之该夹头作用部份之一内部份中，以及对应于该凹面部份之该夹头作用部份之一内部份中。
摘要（英）：
An electrostatic chuck includes, a chuck function portion including a plurality of chuck regions on which an attractable object is placed respectively, and a concave surface portion provided in an outer region of the chuck regions, and electrodes arranged in an inner part of the chuck function portion corresponding to the chuck regions and an inner part of the chuck function portion corresponding to the concave surface portion, respectively.
公开/授权文献:
- TWI563583B 靜電夾頭及半導體／液晶製造設備 公开/授权日：2016-12-21
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/67 | .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置 |