发明专利
TW201242940A 鹽、光阻組成物及製備光阻圖案之方法 SALT, PHOTORESIST COMPOSITION, AND METHOD FOR PRODUCING PHOTORESIST PATTERN
审中-公开
基本信息:
- 专利标题： 鹽、光阻組成物及製備光阻圖案之方法 SALT, PHOTORESIST COMPOSITION, AND METHOD FOR PRODUCING PHOTORESIST PATTERN
- 专利标题（英）：Salt, photoresist composition, and method for producing photoresist pattern
- 专利标题（中）：盐、光阻组成物及制备光阻图案之方法 SALT, PHOTORESIST COMPOSITION, AND METHOD FOR PRODUCING PHOTORESIST PATTERN
- 申请号：TW101112009 申请日：2012-04-05
- 公开(公告)号：TW201242940A 公开(公告)日：2012-11-01
- 发明人： 市川幸司 , 吉田勳 , 山下裕子
- 申请人： 住友化學股份有限公司
- 申请人地址： SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED 日本 JP
- 专利权人： 住友化學股份有限公司
- 当前专利权人： 住友化學股份有限公司
- 当前专利权人地址： SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED 日本 JP
- 代理人： 洪武雄; 陳昭誠
- 优先权： 日本 2011-088879 20110413 日本 2011-109086 20110516 日本 2011-214045 20110929
- 主分类号： C07C
- IPC分类号： C07C ; G03F ; H01L
摘要：
式(I)表示之鹽：
其中，Q 1 及Q 2 各自獨立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L 1 表示C1-C17二價飽和烴基，其中亞甲基可以氧原子或羰基置換，L 2 及L 3 個別地表示單鍵或C1-C6二價飽和烷基，其中亞甲基可以氧原子或羰基置換，環W 1 及環W 2 個別地表示C3-C36烴環，R 1 及R 2 個別地表示氫原子或C1-C6烷基，R 3 表示C1-C6烷基，t表示0至2之整數，及Z + 表示有機抗衡離子。
摘要（中）：
其中，Q 1 及Q 2 各自獨立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L 1 表示C1-C17二價飽和烴基，其中亞甲基可以氧原子或羰基置換，L 2 及L 3 個別地表示單鍵或C1-C6二價飽和烷基，其中亞甲基可以氧原子或羰基置換，環W 1 及環W 2 個別地表示C3-C36烴環，R 1 及R 2 個別地表示氫原子或C1-C6烷基，R 3 表示C1-C6烷基，t表示0至2之整數，及Z + 表示有機抗衡離子。
式(I)表示之盐：
其中，Q 1 及Q 2 各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L 1 表示C1-C17二价饱和烃基，其中亚甲基可以氧原子或羰基置换，L 2 及L 3 个别地表示单键或C1-C6二价饱和烷基，其中亚甲基可以氧原子或羰基置换，环W 1 及环W 2 个别地表示C3-C36烃环，R 1 及R 2 个别地表示氢原子或C1-C6烷基，R 3 表示C1-C6烷基，t表示0至2之整数，及Z + 表示有机抗衡离子。
摘要（英）：
A salt represented by formula (I): wherein Q1 and Q2 independently each represent a fluorine atom or a C1-C6 perfluoroalkyl group, L1 represents a C1-C17 divalent saturated hydrocarbon group in which a methylene group may be replaced by an oxygen atom or a carbonyl group, L2 and L3 respectively represent a single bond or a C1-C6 divalent saturated alkyl group in which a methylene group may be replaced by an oxygen atom or a carbonyl group, ring W1 and ring W2 respectively represent a C3-C36 hydrocarbon ring, R1 and R2 respectively represent a hydrogen atom or C1-C6 alkyl group, R3 represents C1-C6 alkyl group, t represents an integer of 0 to 2 and Z+ represents an organic counter ion.
公开/授权文献:
- TWI552986B 鹽、光阻組成物及製備光阻圖案之方法 公开/授权日：2016-10-11