发明专利
TW201217911A 位置控制系統、微影裝置及控制一可移動物件之位置的方法 POSITION CONTROL SYSTEM, LITHOGRAPHIC APPARATUS, AND METHOD TO CONTROL A POSITION OF A MOVABLE OBJECT
审中-公开
基本信息:
- 专利标题： 位置控制系統、微影裝置及控制一可移動物件之位置的方法 POSITION CONTROL SYSTEM, LITHOGRAPHIC APPARATUS, AND METHOD TO CONTROL A POSITION OF A MOVABLE OBJECT
- 专利标题（英）：Position control system, lithographic apparatus, and method to control a position of a movable object
- 专利标题（中）：位置控制系统、微影设备及控制一可移动对象之位置的方法 POSITION CONTROL SYSTEM, LITHOGRAPHIC APPARATUS, AND METHOD TO CONTROL A POSITION OF A MOVABLE OBJECT
- 申请号：TW100123691 申请日：2011-07-05
- 公开(公告)号：TW201217911A 公开(公告)日：2012-05-01
- 发明人： 西蒙斯 威爾海莫斯 法蘭西斯可思 喬翰尼斯 , 凡 丹 尼歐為拉 紐伯圖司 裘賽夫斯 馬汀尼司 , 希爾傑 馬瑟爾 法蘭可伊斯 , 吉利思 裘思特 喬賽夫 翰卓克 , 翰卓克斯 費迪南德 伯納度思 喬和那思 威赫木斯 馬利亞
- 申请人： ASML荷蘭公司
- 申请人地址： ASML NETHERLANDS B. V. 荷蘭 NL
- 专利权人： ASML荷蘭公司
- 当前专利权人： ASML荷蘭公司
- 当前专利权人地址： ASML NETHERLANDS B. V. 荷蘭 NL
- 代理人： 林嘉興
- 优先权： 美國 61/367,722 20100726
- 主分类号： G03F
- IPC分类号： G03F
A position control system to control the position of a movable object, including a position measurement system configured to determine an actual position related quantity of the movable object; a set-point generator to provide a position related set-point signal of the movable object; a comparator to provide an error signal on the basis of a comparison of the actual position related quantity and the position related set-point signal, a controller to provide a control signal on the basis of the error signal, a feed-forward device to provide a feed-forward signal on the basis of the position related set-point signal, and one or more actuators to act on the movable object on the basis of the control signal and the feed-forward signal, wherein the feed-forward device includes a disturbance force correction table including estimations of disturbance forces exerted on the movable object in dependence of a position of the movable object.
公开/授权文献:
- TWI438582B 位置控制系統、微影裝置及控制一可移動物件之位置的方法 公开/授权日：2014-05-21