基本信息:
- 专利标题： 抗反射塗層組合物及其方法 ANTIREFLECTIVE COATING COMPOSITION AND PROCESS THEREOF
- 专利标题（英）：Antireflective coating composition and process thereof
- 专利标题（中）：抗反射涂层组合物及其方法 ANTIREFLECTIVE COATING COMPOSITION AND PROCESS THEREOF
- 申请号：TW099143805 申请日：2010-12-14
- 公开(公告)号：TW201140250A 公开(公告)日：2011-11-16
- 发明人： 萊罕 M 戴莉爾 , 麥肯利 道格拉斯 , 姚暉蓉 , 趙俊衍 , 易毅 , 林觀陽
- 申请人： AZ電子材料美國股份有限公司
- 申请人地址： AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 美國 US
- 专利权人： AZ電子材料美國股份有限公司
- 当前专利权人： AZ電子材料美國股份有限公司
- 当前专利权人地址： AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 美國 US
- 代理人： 陳長文
- 优先权： 美國 12/646,191 20091223
- 主分类号： G03F
- IPC分类号： G03F ; C09D ; H01L
摘要：
本發明係關於一種包括交聯劑及能夠藉由該交聯劑交聯之可交聯聚合物之抗反射塗層組合物,其中該可交聯聚合物包括由結構(1)表示之單元:
其中A係稠合芳族環及B具有結構(2),
其中R1係C1-C4烷基及R2係C1-C4烷基。本發明進一步係關於一種利用該組合物形成影像之方法。
摘要（中）：
其中A係稠合芳族環及B具有結構(2),
其中R1係C1-C4烷基及R2係C1-C4烷基。本發明進一步係關於一種利用該組合物形成影像之方法。
本发明系关于一种包括交联剂及能够借由该交联剂交联之可交联聚合物之抗反射涂层组合物,其中该可交联聚合物包括由结构(1)表示之单元:
其中A系稠合芳族环及B具有结构(2),
其中R1系C1-C4烷基及R2系C1-C4烷基。本发明进一步系关于一种利用该组合物形成影像之方法。
摘要（英）：
The invention relates to an antireflective coating composition comprising a crosslinker and a crosslinkable polymer capable of being crosslinked by the crosslinker, where the crosslinkable polymer comprises a unit represented by structure (1): where A is a fused aromatic ring and B has a structure (2), where R1 is C1-C4alkyl and R2 is C1-C4alkyl. The invention further relates to a process for forming an image using the composition.
公开/授权文献:
- TWI510862B 抗反射塗層組合物及其方法 公开/授权日：2015-12-01