基本信息:
- 专利标题： 抗反射塗料組合物 AN ANTIREFLECTIVE COATING COMPOSITION
- 专利标题（英）：An antireflective coating composition
- 专利标题（中）：抗反射涂料组合物 AN ANTIREFLECTIVE COATING COMPOSITION
- 申请号：TW098110863 申请日：2009-04-01
- 公开(公告)号：TW201011078A 公开(公告)日：2010-03-16
- 发明人： 麥坎基 道格拉斯 , 阿達哈 大衛 , 提姆克 艾倫G , 拉曼M 達利
- 申请人： AZ電子材料美國股份有限公司
- 申请人地址： AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 美國 US
- 专利权人： AZ電子材料美國股份有限公司
- 当前专利权人： AZ電子材料美國股份有限公司
- 当前专利权人地址： AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 美國 US
- 代理人： 陳長文
- 优先权： 美國 12/115,776 20080506
- 主分类号： C09D
- IPC分类号： C09D ; G03F
摘要：
本發明係關於一種包含聚合物、交聯劑及熱酸產生劑之抗反射塗料組合物，其中該聚合物包含至少一個結構(1)單元、至少一個結構(2)單元及至少一個結構(3)之結構，
其中R1至R9為獨立地選自H及C1-C6烷基，R'及R”為獨立地選自H及C1-C6烷基，X為C1-C6伸烷基，Y為C1-C6伸烷基。本發明進一步係關於一種使塗佈於該抗反射塗料組合物上之光阻成像之方法。
摘要（中）：
其中R1至R9為獨立地選自H及C1-C6烷基，R'及R”為獨立地選自H及C1-C6烷基，X為C1-C6伸烷基，Y為C1-C6伸烷基。本發明進一步係關於一種使塗佈於該抗反射塗料組合物上之光阻成像之方法。
本发明系关于一种包含聚合物、交联剂及热酸产生剂之抗反射涂料组合物，其中该聚合物包含至少一个结构(1)单元、至少一个结构(2)单元及至少一个结构(3)之结构，
其中R1至R9为独立地选自H及C1-C6烷基，R'及R”为独立地选自H及C1-C6烷基，X为C1-C6伸烷基，Y为C1-C6伸烷基。本发明进一步系关于一种使涂布于该抗反射涂料组合物上之光阻成像之方法。
摘要（英）：
The invention relates to an antireflective coating composition comprising a polymer, a crosslinker and a thermal acid generator, where the polymer comprises at least one unit of structure (1), at least one unit of structure (2) and at least one structure of structure (3), where R1 to R9 is independently selected from H and C1-C6 alkyl, R' and R'' is independently selected from H and C1-C6 alkyl, X is C1-C6 alkylene, Y is C1-C6 alkylene. The invention further relates to a process for imaging a photoresist coated over the antireflective coating composition.