基本信息:
- 专利标题: 射頻功率產生器及其運作方法 RF POWER GENERATOR AND OPERATING METHOD THEREOF
- 专利标题(英):RF power generator and operating method thereof
- 专利标题(中):射频功率产生器及其运作方法 RF POWER GENERATOR AND OPERATING METHOD THEREOF
- 申请号:TW098109246 申请日:2009-03-20
- 公开(公告)号:TW201004133A 公开(公告)日:2010-01-16
- 发明人: 西瓦古馬 塞夏吉 , 艾洛格魯 阿布杜拉
- 申请人: 萬機科技股份有限公司
- 申请人地址: MKS INSTRUMENTS, INC. 美國 US
- 专利权人: 萬機科技股份有限公司
- 当前专利权人: 萬機科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: MKS INSTRUMENTS, INC. 美國 US
- 代理人: 許世正
- 优先权: 美國 12/166,160 20080701
- 主分类号: H03F
- IPC分类号: H03F
摘要:
一種射頻功率產生器,包含依照第一控制訊號產生第一射頻訊號之第一開關模式放大器以及依照第二控制訊號產生第二射頻訊號之第二開關模式放大器。第一和第二控制訊號判定第一和第二射頻訊號之間的相位差。輸出訊號包絡係基於第一和第二射頻訊號與此相位差。第一控制和第二控制訊號交替第一和第二射頻訊號的相位。
摘要(中):
一种射频功率产生器,包含依照第一控制信号产生第一射频信号之第一开关模式放大器以及依照第二控制信号产生第二射频信号之第二开关模式放大器。第一和第二控制信号判定第一和第二射频信号之间的相位差。输出信号包络系基于第一和第二射频信号与此相位差。第一控制和第二控制信号交替第一和第二射频信号的相位。
摘要(英):
A radio frequency (RF) power generator includes a first switch-mode amplifier that generates a first RF signal in accordance with a first control signal and a second switch-mode amplifier that generates a second RF signal in accordance with a second control signal. The first and second control signals determine a phase difference between the first and second RF signals. An output signal envelope is based on the first and second RF signals and the phase difference. The first control and second control signals alternate phases of the first and second RF signals.
公开/授权文献:
- TWI446708B 射頻功率產生器及其運作方法 公开/授权日:2014-07-21