基本信息:
- 专利标题： 三閥入口組件 TRIPLE VALVE INLET ASSEMBLY
- 专利标题（英）：Triple valve inlet assembly
- 专利标题（中）：三阀入口组件 TRIPLE VALVE INLET ASSEMBLY
- 申请号：TW097121529 申请日：2008-06-10
- 公开(公告)号：TW200916676A 公开(公告)日：2009-04-16
- 发明人： 馬克 塔斯卡 TASKAR, MARK
- 申请人： 蘭姆研究公司 LAM RESEARCH CORPORATION
- 申请人地址： 美國
- 专利权人： 蘭姆研究公司 LAM RESEARCH CORPORATION
- 当前专利权人： 蘭姆研究公司 LAM RESEARCH CORPORATION
- 当前专利权人地址： 美國
- 代理人： 許峻榮
- 优先权： 美國 11/761,244 20070611
- 主分类号： F16K
- IPC分类号： F16K ; F17D ; H01L
A gas delivery apparatus having a manifold block configured to create a fluid flow path, a horizontal inlet port coupled to the manifold block at a first side in fluid communication with the fluid flow path and configured to receive a supply gas, a pneumatic valve coupled to the manifold block at a first end configured to prevent unauthorized activation of fluid flow, the pneumatic valve in fluid communication with the fluid flow path and horizontal inlet port, a purge valve coupled to the manifold block in fluid communication with the fluid flow path positioned adjacent the pneumatic valve, and a vertical purge port coupled to the manifold block at a first end, the vertical purge port positioned between the purge valve and the pneumatic valve and having a purge gas input/output connection at a second end, wherein the horizontal inlet port is positioned perpendicular to the vertical purge port.
公开/授权文献:
- TWI429837B 三閥入口組件 公开/授权日：2014-03-11
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| F | 机械工程；照明；加热；武器；爆破 |
| --F16 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热 |
| ----F16K | 阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置 |