基本信息:
- 专利标题： 工作台設備 STAGE APPARATUS
- 专利标题（英）：Stage apparatus
- 专利标题（中）：工作台设备 STAGE APPARATUS
- 申请号：TW096117415 申请日：2007-05-16
- 公开(公告)号：TW200809425A 公开(公告)日：2008-02-16
- 发明人： 大石伸司 OHISHI, SHINJI
- 申请人： 佳能股份有限公司 CANON KABUSHIKI KAISHA
- 申请人地址： 日本
- 专利权人： 佳能股份有限公司 CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人： 佳能股份有限公司 CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人地址： 日本
- 代理人： 林志剛
- 优先权： 日本 2006-179816 20060629
- 主分类号： G03F
- IPC分类号： G03F
摘要：
至少一示範具體實施例係針對一工作台設備,該工作台設備包含一工作台,其可於第一方向中運動;一線性馬達,其組構成在該第一方向中驅動該工作台;一磁鐵單元,其具有設置在該工作台上之第一磁鐵及設置在該工作台的一衝程之兩端的第二磁鐵,使得該第一及第二磁鐵之相同磁極彼此相面對;及一支撐構件,其支撐該等第二磁鐵。該支撐構件被可運動地支撐在該第一方向中。
摘要（中）：
至少一示范具体实施例系针对一工作台设备,该工作台设备包含一工作台,其可于第一方向中运动;一线性马达,其组构成在该第一方向中驱动该工作台;一磁铁单元,其具有设置在该工作台上之第一磁铁及设置在该工作台的一冲程之两端的第二磁铁,使得该第一及第二磁铁之相同磁极彼此相面对;及一支撑构件,其支撑该等第二磁铁。该支撑构件被可运动地支撑在该第一方向中。
摘要（英）：
At least one exemplary embodiment is directed to a stage apparatus which includes a stage movable in a first direction, a linear motor configured to drive the stage in the first direction, a magnet unit having first magnets disposed on the stage and second magnets disposed at both ends of a stroke of the stage such that the same poles of the first and second magnets face each other, and a supporting member supporting the second magnets. The supporting member is supported movably in the first direction.