基本信息:
- 专利标题： 回收處理流體之方法及裝置 METHOD AND APPARATUS FOR RECYCLING PROCESS FLUIDS
- 专利标题（英）：Method and apparatus for recycling process fluids
- 专利标题（中）：回收处理流体之方法及设备 METHOD AND APPARATUS FOR RECYCLING PROCESS FLUIDS
- 申请号：TW096112185 申请日：2007-04-04
- 公开(公告)号：TW200802522A 公开(公告)日：2008-01-01
- 发明人： 大衛P 艾德華 EDWARDS, DAVID P.
- 申请人： BOC集團公司 THE BOC GROUP, INC.
- 申请人地址： 美國
- 专利权人： BOC集團公司 THE BOC GROUP, INC.
- 当前专利权人： BOC集團公司 THE BOC GROUP, INC.
- 当前专利权人地址： 美國
- 代理人： 陳長文
- 优先权： 美國 60/789,404 20060404 美國 11/732,088 20070402
- 主分类号： H01L
- IPC分类号： H01L
摘要：
本發明提供一種用於自一半導體處理工具之一排水管回收一處理流體之方法及裝置。該處理流體可為在一半導體製程步驟中用於防止銅互連中之電遷移的一酸性鈷溶液或一無電鈷溶液。已用之處理流體係自工具排水管收集且若該流體之一條件係在一預定範圍內則回收送回至工具入口。否則,使該已用之處理流體自系統排出。該系統亦可以一排送及饋入模式操作,其中該已用之處理流體之一部分自該系統週期性地排出。
摘要（中）：
本发明提供一种用于自一半导体处理工具之一排水管回收一处理流体之方法及设备。该处理流体可为在一半导体制程步骤中用于防止铜互连中之电迁移的一酸性钴溶液或一无电钴溶液。已用之处理流体系自工具排水管收集且若该流体之一条件系在一预定范围内则回收送回至工具入口。否则,使该已用之处理流体自系统排出。该系统亦可以一排送及馈入模式操作,其中该已用之处理流体之一部分自该系统周期性地排出。
摘要（英）：
A method and apparatus for recycling a process fluid from a drain of a semiconductor process tool. The process fluid may be an acidic cobalt solution or an electroless cobalt solution used in a semiconductor process step to prevent electromigration in copper interconnects. The used process fluid is collected from the tool drain and recycled back to the tool inlet if a condition of the fluid is within a predetermined range. Otherwise, the used process fluid is drained from the system. The system may also operate in a bleed and feed mode where a portion of the used process fluid is periodically drained from the system.
公开/授权文献:
- TWI529773B 回收處理流體之方法及裝置 公开/授权日：2016-04-11