发明专利
TW200428555A 用以決定一基材相對於一支撐平臺之位置的方法與設備 METHODS AND APPARATUS FOR DETERMINING A POSITION OF A SUBSTRATE RELATIVE TO A SUPPORT STAGE
失效
基本信息:
- 专利标题： 用以決定一基材相對於一支撐平臺之位置的方法與設備 METHODS AND APPARATUS FOR DETERMINING A POSITION OF A SUBSTRATE RELATIVE TO A SUPPORT STAGE
- 专利标题（英）：Methods and apparatus for determining a position of a substrate relative to a support stage
- 专利标题（中）：用以决定一基材相对于一支撑平台之位置的方法与设备 METHODS AND APPARATUS FOR DETERMINING A POSITION OF A SUBSTRATE RELATIVE TO A SUPPORT STAGE
- 申请号：TW093104365 申请日：2004-02-20
- 公开(公告)号：TW200428555A 公开(公告)日：2004-12-16
- 发明人： 栗田伸一 KURITA, SHINICHI , 比爾伊曼紐 BEER, EMANUEL , 艾德嘎爾凱爾博格 KEHRBERG, EDGAR , 馬提阿斯布魯兒 BRUNER, MATTHIAS
- 申请人： 應用材料股份有限公司 APPLIED MATERIALS, INC.
- 申请人地址： 美國
- 专利权人： 應用材料股份有限公司 APPLIED MATERIALS, INC.
- 当前专利权人： 應用材料股份有限公司 APPLIED MATERIALS, INC.
- 当前专利权人地址： 美國
- 代理人： 蔡坤財
- 优先权： 美國 60/448,821 20030220
- 主分类号： H01L
- IPC分类号： H01L
摘要：
茲提供一種包括數個探針之感應系統，該等探針係以間隔關係配置在一用於支撐基材之站台的周圍。每一探針包括一偵測部，其係用以由一已知起始位置移向該基材(由該站台所支撐)的邊緣；偵測該基材(由該站台所支撐)之邊緣；在偵測之後產生一偵測訊號；且在偵測後停止移向該基材之邊緣。一控制器可用於判定該基材相對於該站台之邊緣位置，其係依據各偵測部之該已知起始位置及每一偵測部所產生之偵測訊號作判定。本發明並提供許多其他的態樣。
摘要（中）：
兹提供一种包括数个探针之感应系统，该等探针系以间隔关系配置在一用于支撑基材之站台的周围。每一探针包括一侦测部，其系用以由一已知起始位置移向该基材(由该站台所支撑)的边缘；侦测该基材(由该站台所支撑)之边缘；在侦测之后产生一侦测信号；且在侦测后停止移向该基材之边缘。一控制器可用于判定该基材相对于该站台之边缘位置，其系依据各侦测部之该已知起始位置及每一侦测部所产生之侦测信号作判定。本发明并提供许多其他的态样。
摘要（英）：
A sensing system includes a plurality of probes arranged in a spaced relation around a stage that is adapted to support a substrate. Each probe includes a detection portion adapted to move from a known starting position toward an edge of the substrate that is supported by the stage; generate a detection signal following said detection; and stop moving toward the edge of the substrate following said detection. A controller may determine an edge position of the substrate relative to the stage based on the known starting signal of each detection portion and based on the detection signal generated by each detection portion. Numerous other aspects are provided.