基本信息:
- 专利标题： 세라믹 구성요소의 논-포지티브 연결을 위한 연결 배열체
- 专利标题（英）：- CONNECTION ARRANGEMENT FOR THE NON-POSITIVE CONNECTION OF CERAMIC COMPONENTS
- 申请号：KR1020177009955 申请日：2014-09-15
- 公开(公告)号：KR102279234B1 公开(公告)日：2021-07-20
- 国际申请： PCT/EP2014/069642 2014-09-15
- 国际公布： WO2016041573 2016-03-24
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; H01L21/48 ; H01L21/687 ; H01L21/027
摘要：
리소그래피장치를위한세라믹구성요소(202, 208) 사이의논-포지티브(non-positive) 연결을위한연결배열체(700)가개시된다. 연결배열체(700)는제1 및제2 세라믹구성요소(202, 208) 및클램핑디바이스(214)를포함한다. 클램핑디바이스는논-포지티브방식으로제1 및제2 세라믹구성요소(202, 208)를서로에대해클램핑한다.
摘要（英）：
A connection arrangement is provided for a force-fit connecting ceramic components for a lithography apparatus. The connection arrangement includes first and a second ceramic components and a clamping device. The clamping device directly clamps the first and the second ceramic component against one another in a force-fit manner.
公开/授权文献:
- KR1020170054483A 세라믹 구성요소의 논-포지티브 연결을 위한 연결 배열체 公开/授权日：2017-05-17