基本信息:
- 专利标题： 박막의 결정성장거동을 조절하는 방법
- 专利标题（英）：METHOD FOR CONTROLLING CRYSTAL GROWTH BEHAVIOR OF THIN-FILM
- 申请号：KR20190092295 申请日：2019-07-30
- 公开(公告)号：KR20210014353A 公开(公告)日：2021-02-09
- 优先权： KR20190092295 2019-07-30
- 主分类号： C30B28/02
- IPC分类号： C30B28/02 ; C30B25/02 ; C30B29/46
摘要：
박막의결정성장거동을조절하는방법에관한것으로, 일실시예에따른박막의결정성장거동조절방법은기판상에결정질시드층을형성하는단계와, 상기결정질시드층상에비결정질시드층을형성하는단계및 상기결정질시드층및 상기비결정질시드층이순차적으로적층된상기기판을진공상태에서열처리하여, 결정의성장거동이조절된박막을형성하는단계를포함할수 있다.