파우더 배치형 플라즈마 처리장치 및 방법

专利标题： 파우더 배치형 플라즈마 처리장치 및 방법
专利标题（英）：Powder arrangement type plasma processing apparatus and method
专利标题（中）：粉末装配类型等离子体处理装置和方法
申请号：KR1020130142490 申请日：2013-11-21
公开(公告)号：KR1020150059226A 公开(公告)日：2015-06-01
发明人： 이덕연 , 송석균 , 신정철 , 김성인
申请人： 재단법인 철원플라즈마 산업기술연구원
申请人地址： 강원도 철원군 갈말읍 호국로 ****
专利权人： 재단법인 철원플라즈마 산업기술연구원
当前专利权人： 재단법인 철원플라즈마 산업기술연구원
当前专利权人地址： 강원도 철원군 갈말읍 호국로 ****
代理人： 김윤배
主分类号： B01J19/08
IPC分类号： B01J19/08

摘要：

본 발명은 파우더 배치형 플라즈마 처리장치 및 방법에 관한 것으로 챔버(200), RF 전원 장치(300), 플라즈마 반응기(100); 다공성 필터로되는 상기 반응기(100)의 벽면(110)(110a); 파우더 피더(210); 챔버(200) 속으로 주입되는 파우더를 배치하는 파우더 배치부분(220); 파우더 입자들을 유동시키는 블로윙 가스를 챔버(200)로 도입하는 블로윙 가스 공급부(230); 반응기(100)의 벽면(110)에 파우더를 흡착하거나 분리하는 펌핑 및 역류수단(400); 및 상기 챔버(100)에 포함되거나 또는 상기 챔버(200)와 구분되어 분리되는 컬렉터(500);를 포함한다. 본 발명에 따르면, 플라즈마 반응시간을 충분하게 해줄 수 있고 파우더 미세입자의 균일한 기능화와 다양한 기능화를 연속 반복적으로 수행 가능하고 양산화 조건을 충족하는 고성능 친환경성 플라즈마 처리장치를 제공한다.

摘要（中）：

本发明涉及一种用于处理粉末排列型等离子体的设备，包括：室（200），RF功率器件（300），等离子体反应器（100）; 用作多孔过滤器的反应器（100）的壁表面（110,110a）; 粉末进料器（210）; 粉末排列部分（220），用于布置注入到所述室（200）中的粉末; 吹送气体供给部（230），其引入吹入气体以使所述室（200）中的粉末颗粒移动; 用于泵送和反洗的工具（400），其被允许从反应器（100）的壁表面（110）吸附或分离粉末; 以及包含在所述室（200）中的或与所述室（200）分离的可拆卸的收集器（500），以及用于处理粉末排列型等离子体的方法，其中本发明的装置可以为等离子体提供足够的时间反应，使微粒均匀，反复执行其他各种功能，环保，具有满足批量生产条件的高能力。

摘要（英）：

The present invention relates to a powder batch type plasma processing apparatus and method the chamber (200), RF power supply 300, a plasma reactor (100); Wall 110 of the reactor 100 is a porous filter (110a); Powder feeder (210); Powder batch portion to place the powder is introduced into the chamber 200, 220; Beulrowing gas supply part 230 for introducing the powder particles beulrowing gas flowing into the chamber (200); And reflux means for pumping or suction to remove the powder to the wall 110 of the reactor 100 (400); And a collector (500) contained in the chamber 100 is divided or separated from the chamber (200); and a. According to the invention, it can give a plasma reaction time sufficient to provide a high-performance and eco-friendliness, and a plasma processing apparatus which can meet the mass production conditions do a uniform functionalized with a variety of functionalized powder of fine particles continuously repeated.

KR101529565B1 파우더 배치형 플라즈마 처리장치 및 방법 公开/授权日：2015-06-19

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B	作业；运输
--B01	一般的物理或化学的方法或装置
----B01J	化学或物理方法，例如，催化作用、胶体化学；其有关设备
------B01J19/00	化学的，物理的，或物理—化学的一般方法；（对纤维、线、纱、织物、羽毛或由这些材料制成的纤维制品的物理处理，见这种处理的有关位置，例如，D06M10/00）；及其有关设备
--------B01J19/08	.利用直接应用电能，波能或粒子辐射的方法；其所用设备

发明公开 KR1020150059226A 파우더 배치형 플라즈마 처리장치 및 방법 有权

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