基本信息:
- 专利标题： 기판 적층체, 이를 포함하는 전자 소자 및 이의 제조방법
- 专利标题（英）：Substrate laminate, electronic device having the substrate laminate and method of manufacturing the same
- 专利标题（中）：基板层压板，具有基板层压板的电子设备及其制造方法
- 申请号：KR1020130100515 申请日：2013-08-23
- 公开(公告)号：KR1020150022515A 公开(公告)日：2015-03-04
- 发明人： 이상준 , 박상준 , 김정두 , 김지희
- 申请人： 주식회사 엘지화학
- 申请人地址： ***, Yeoui-daero, Yeongdeungpo-gu, Seoul, Republic of Korea
- 专利权人： 주식회사 엘지화학
- 当前专利权人： 주식회사 엘지화학
- 当前专利权人地址： ***, Yeoui-daero, Yeongdeungpo-gu, Seoul, Republic of Korea
- 代理人： 특허법인다나
- 主分类号： H01L51/00
- IPC分类号： H01L51/00 ; H05B33/22
摘要：
본 명세서는 기판 적층체, 이를 포함하는 전자 소자 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
摘要（中）：
本发明涉及一种基板层叠体及其制造方法。 本发明包括以下步骤：在基片上使用聚硅氮烷化合物形成氧化硅膜; 以及在其上形成有氧化硅膜的基板上以原子层沉积法形成金属膜或金属氧化物膜。
摘要（英）：
[0011] This application discloses a substrate stack, and a method of manufacturing an electronic device including the same.
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L51/00 | 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备 |