基本信息:
- 专利标题: 기판제조방법 및 기판제조장치
- 专利标题(英):Substrate manufacturing method and apparatus
- 专利标题(中):基板制造方法及装置
- 申请号:KR1020140088443 申请日:2014-07-14
- 公开(公告)号:KR1020150018375A 公开(公告)日:2015-02-23
- 发明人: 오카모토유지
- 申请人: 메이코 일렉트로닉스 컴파니 리미티드 , 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
- 申请人地址: *-**-**, Ogami, Ayase-shi, Kanagawa JAPAN
- 专利权人: 메이코 일렉트로닉스 컴파니 리미티드,스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
- 当前专利权人: 메이코 일렉트로닉스 컴파니 리미티드,스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
- 当前专利权人地址: *-**-**, Ogami, Ayase-shi, Kanagawa JAPAN
- 代理人: 방해철; 김용인
- 优先权: JPJP-P-2013-165739 2013-08-09
- 主分类号: B29C67/00
- IPC分类号: B29C67/00
摘要:
두꺼운 금속패턴을 형성하기 위한 마스크패턴을 지지기판 상에 형성하는 방법을 제공한다. 제1 선형상 패턴, 및 제1 선형상 패턴보다 굵은 제2 선형상 패턴을 형성해야 하는 지지기판을 준비한다. 지지기판의, 제1 선형상 패턴 및 제2 선형상 패턴을 형성해야 하는 영역에, 박막재료를 액적화하여 착탄시키고, 착탄한 박막재료를 경화시키는 수순을 복수 회 반복한다. 제1 선형상 패턴을 형성하기 위한 수순의 반복 횟수가, 제2 선형상 패턴을 형성하기 위한 수순의 반복 횟수보다 많다.
摘要(中):
提供一种形成用于在支撑基板上形成厚金属图案的掩模图案的方法。 该方法包括制备支撑衬底的步骤,其中需要形成比第一线性图案更厚的第一线性图案和第二线状图案; 通过在形成第一线状图案和第二线状图案的支撑基板的区域上形成薄膜材料形成液滴,重复碳化步骤,并使碳化薄膜材料多次固化。 用于形成第一线性图案的序列的重复数量大于用于形成第二线性图案的序列的重复数目。
摘要(英):
It provides a method for forming a mask pattern for forming the thick metal pattern on a supporting substrate. First wire-like pattern, and the first support substrate to be prepared to form a thick second wire-like pattern than the linear pattern. A procedure in which the areas to be formed, a first linear pattern and the second line-like pattern of the supporting substrate, and the deposited thin film material to optimize liquid, curing the deposited thin film material is repeated a plurality of times. The first line is the number of iterations of the procedure for forming a pattern shape, it is greater than the number of repetitions of steps for forming a second wire-like pattern.
公开/授权文献:
- KR101663193B1 기판제조방법 및 기판제조장치 公开/授权日:2016-10-06