基本信息:
- 专利标题： 박막 트랜지스터를 포함하는 표시 기판 및 이의 제조 방법
- 专利标题（英）：Display substrate having a thin film transistor and method of manufacturing the same
- 专利标题（中）：具有薄膜晶体管的显示基板及其制造方法
- 申请号：KR1020130077551 申请日：2013-07-03
- 公开(公告)号：KR1020150004536A 公开(公告)日：2015-01-13
- 发明人： 조기현 , 김정원 , 박광우 , 박철원
- 申请人： 삼성디스플레이 주식회사
- 申请人地址： 경기 용인시 기흥구 삼성로*(농서동)
- 专利权人： 삼성디스플레이 주식회사
- 当前专利权人： 삼성디스플레이 주식회사
- 当前专利权人地址： 경기 용인시 기흥구 삼성로*(농서동)
- 代理人： 박영우
- 主分类号： G02F1/136
- IPC分类号： G02F1/136 ; H01L29/786
A method of manufacturing a display substrate, forming a thin film transistor including a gate electrode, an active pattern, the source electrode and the drain electrode on the base substrate. To form the first passivation layer and the second passivation layer covering the thin film transistor sequentially. To form a photoresist pattern to partially expose the second passivation layer. To partially remove the second passivation layer and the first passivation layer to form a contact hole exposing the drain electrode. And forming the second passivation layer, the drain electrode and the pixel electrode layer on the photoresist pattern. And a pixel electrode by removing the pixel electrode portion positioned on the upper surface and sidewall of the photoresist pattern and the photoresist pattern.
公开/授权文献:
- KR102094847B1 박막 트랜지스터를 포함하는 표시 기판 및 이의 제조 방법 公开/授权日：2020-03-31