基本信息:
- 专利标题: 수소화폴리실록사잔 박막용 린스액 및 이를 이용한 수소화폴리실록사잔 박막의 패턴 형성 방법
- 专利标题(英):Rinse solution for polyhydrosiloxazane thin film and method of patterning polyhydrosiloxazane thin film using the same
- 专利标题(中):用于聚硅氧烷类薄膜的溶液及其使用聚甲基硅氧烷薄膜的方法
- 申请号:KR1020130107950 申请日:2013-09-09
- 公开(公告)号:KR1020140139946A 公开(公告)日:2014-12-08
- 发明人: 임완희 , 김고은 , 박은수 , 이한송 , 김상균 , 임상학
- 申请人: 제일모직주식회사
- 申请人地址: 경상북도 구미시 구미대로 ** (공단동)
- 专利权人: 제일모직주식회사
- 当前专利权人: 제일모직주식회사
- 当前专利权人地址: 경상북도 구미시 구미대로 ** (공단동)
- 代理人: 팬코리아특허법인
- 优先权: KR1020130060589 2013-05-28
- 主分类号: C11D7/50
- IPC分类号: C11D7/50 ; H01L21/304
摘要:
C8 내지 C20 지방족 탄화수소 또는 이들의 혼합물을 포함하는 제1 용매 및
C7 내지 C20 방향족 탄화수소 또는 이들의 혼합물을 포함하는 제2 용매를 포함하고, 상기 제1 용매 및 상기 제2 용매의 중량비는 60 : 40 내지 90 : 10 인 수소화폴리실록사잔 박막용 린스액을 제공한다.
摘要(中):
C7 내지 C20 방향족 탄화수소 또는 이들의 혼합물을 포함하는 제2 용매를 포함하고, 상기 제1 용매 및 상기 제2 용매의 중량비는 60 : 40 내지 90 : 10 인 수소화폴리실록사잔 박막용 린스액을 제공한다.
本发明涉及聚硅氧烷氮烷薄膜的冲洗溶液,其包括:包含C 8 -C 20脂族烃或其混合物的第一溶剂; 和包括C 7 -C 20芳族烃或其混合物的第二溶剂,其中第一溶剂和第二溶剂的重量比为60:40至90:10。
摘要(英):
First solvent comprising the C8 to C20 aliphatic hydrocarbon, or a mixture thereof and
C7 to C20 aromatic hydrocarbon or a second solvent comprising a mixture thereof, and the weight ratio of said first solvent and said second solvent is 60:40 to 90:10 in the hydrogenation and polysiloxazane provides a rinsing solution for the thin film.
公开/授权文献:
- KR101653336B1 수소화폴리실록사잔 박막용 린스액 및 이를 이용한 수소화폴리실록사잔 박막의 패턴 형성 방법 公开/授权日:2016-09-01
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
C | 化学;冶金 |
--C11 | 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡;由此制取的脂肪酸;洗涤剂;蜡烛 |
----C11D | 洗涤剂组合物;用单一物质作为洗涤剂;皂或制皂;树脂皂;甘油的回收 |
------C11D7/00 | 主要以非表面活性化合物为基料的洗涤剂组合物 |
--------C11D7/50 | .溶剂 |