基本信息:
- 专利标题: 그래핀 합성 방법
- 专利标题(英):Method for synthesizing graphene
- 专利标题(中):合成石墨的方法
- 申请号:KR1020130055917 申请日:2013-05-16
- 公开(公告)号:KR1020140135519A 公开(公告)日:2014-11-26
- 发明人: 원동관 , 김나영
- 申请人: 한화테크윈 주식회사
- 申请人地址: (Seongju-dong) ****, Changwon-daero, Seongsan-gu, Changwon-si, Gyeongsangnam-do, Republic of Korea
- 专利权人: 한화테크윈 주식회사
- 当前专利权人: 한화테크윈 주식회사
- 当前专利权人地址: (Seongju-dong) ****, Changwon-daero, Seongsan-gu, Changwon-si, Gyeongsangnam-do, Republic of Korea
- 代理人: 리앤목특허법인
- 主分类号: C01B31/02
- IPC分类号: C01B31/02 ; C23C16/06
摘要:
본 발명은 그래핀 합성 방법에 관련된 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 합성 방법은, 촉매 금속 박을 마련하는 단계와, 상기 촉매 금속 박의 표면에 방청 물질을 도포하는 단계와, 상기 방청 물질이 도포된 상기 촉매 금속 박을 CVD 챔버에 삽입하는 단계와, 상기 CVD 챔버 내에 진공을 형성하는 단계와, 상기 CVD 챔버의 내부를 가열하여 상기 방청 물질을 기화 또는 연소시켜 제거하는 단계와, 상기 CVD 챔버 내에 원료 가스를 주입하고 상기 촉매 금속 박의 표면에서 그래핀을 합성하는 단계를 포함한다.
摘要(中):
本发明涉及石墨烯的合成方法。 根据本发明的一个实施方案,用于合成石墨烯的方法包括以下步骤:制备催化金属膜; 用抗腐蚀材料涂覆催化金属膜的表面; 将涂有防腐蚀材料的催化金属膜插入CVD室中; 在CVD室内形成真空; 通过在加热CVD室内部之后使防腐蚀材料蒸发或燃烧来除去防腐蚀材料; 并在将源气体注入到CVD室中之后,在催化金属膜的表面上合成石墨烯。
摘要(英):
The present invention relates to yes pin synthesis method. Graphene synthesis method according to an embodiment of the present invention, the method comprising providing a catalyst metal foil, the method and the catalytic metal foil with the anti-corrosive material is applied to coat a rust-preventive material on the surface of the catalytic metal foil CVD and inserting the chamber, forming a vacuum in the CVD chamber, the heat the interior of the CVD chamber wherein the rust removing vaporized or burned material, the raw material gas for injection, and the catalyst in the CVD chamber So the surface of the metal foil and a step of synthesizing the pin.
公开/授权文献:
- KR101915202B1 그래핀 합성 방법 公开/授权日:2018-11-05