基本信息:
- 专利标题： 직물 기판에 박막을 형성하기 위한 유리―점착제 척
- 专利标题（英）：Glass-adhesive chuck for forming thin film on a fabric substrate
- 专利标题（中）：用于在织物基材上形成薄膜的玻璃胶粘剂
- 申请号：KR1020130054694 申请日：2013-05-15
- 公开(公告)号：KR1020140134828A 公开(公告)日：2014-11-25
- 发明人： 황용운 , 강동호 , 이재영 , 구본철
- 申请人： 노바테크인더스트리 주식회사 , 노바테크 (주)
- 申请人地址： 경기도 안양시 동안구 시민대로 ***, 에이***호(관양동, 평촌아크로타워)
- 专利权人： 노바테크인더스트리 주식회사,노바테크 (주)
- 当前专利权人： 노바테크인더스트리 주식회사,노바테크 (주)
- 当前专利权人地址： 경기도 안양시 동안구 시민대로 ***, 에이***호(관양동, 평촌아크로타워)
- 代理人： 주은희
- 主分类号： H01L51/56
- IPC分类号： H01L51/56 ; H05B33/10 ; H01L21/683 ; H01L21/673
본 발명은, 직물 기판을 점착제로 유리기판에 부착하여 유리기판을 이동시키면서 박막 형성 공정을 실시하고, 박막 형성 공정이 완료되면 유리기판으로부터 직물 기판을 떼어내는 방식의 척/디척 수단을 제공하며, 특히, 유리기판에 직물 기판을 부착하는 점착제 선정에 있어서, 고온에서 점착력을 상실하는 열 반응성 점착제를 사용하거나 자외선 조사시 점착력을 상실하는 자외선 반응성 점착제를 사용하여 디척 과정에서 박막 소자가 손상이나 변형을 입지 않게 하였다.
The present invention has been made to keep the easy cloth substrate being crimped in that for use to enhance the flexibility cloth (textile) with a substrate material in as manufacturing a semiconductor element such as an OLED to the substrate, the thin film forming process as a taut after selecting the chuck and thus of the chucking means and the processing of the plate to provide a dechucking method.
The present invention, attached to a glass substrate, the fabric substrate with the adhesive, and while moving the glass substrate subjected to thin-film forming process and to provide a method chuck / dicheok means for detaching the fabric substrate from the glass substrate when the thin film forming process is completed, in particular, in the pressure-sensitive adhesive selected for attaching the fabric substrate to the glass substrate, by using the heat-reactive adhesive which loses adhesive force at a high temperature or by using an ultraviolet-reactive pressure-sensitive adhesive which loses its adhesive force upon irradiation with ultraviolet light to the thin film device is damaged or deformed in dicheok process location was not.