基本信息:
- 专利标题： 스팀 플라즈마 토치를 이용한 실리콘 산화물 합성 방법 및 이의 실리콘 산화물
- 专利标题（英）：Method for making silicon oxide by steam plasma torch and the silicon oxide thereof
- 专利标题（中）：通过蒸汽等离子体转子和氧化硅氧化硅制造氧化硅的方法
- 申请号：KR1020130040994 申请日：2013-04-15
- 公开(公告)号：KR1020140123759A 公开(公告)日：2014-10-23
- 发明人： 홍용철 , 신동훈 , 마숙활
- 申请人： 한국기초과학지원연구원
- 申请人地址： 대전광역시 유성구 과학로 ***-*** (어은동)
- 专利权人： 한국기초과학지원연구원
- 当前专利权人： 한국기초과학지원연구원
- 当前专利权人地址： 대전광역시 유성구 과학로 ***-*** (어은동)
- 代理人： 남건필; 차상윤
- 主分类号： C01B33/113
- IPC分类号： C01B33/113 ; B01J19/12
摘要：
본 발명은, 전자파를 플라즈마 발생기 내부로 전송하고, 상기 플라즈마 발생기로 스팀을 공급시켜 스팀 플라즈마 토치를 생성하며, 상기 스팀 플라즈마 토치에 실리콘 원료물질을 공급함을 포함하는, 스팀 플라즈마 토치를 이용한 실리콘 산화물을 합성하는 방법 및 장치를 제공한다.
摘要（中）：
本发明涉及一种使用蒸汽等离子体焰炬合成氧化硅的方法和装置，其中通过将电磁波传输到等离子体发生器中并向等离子体发生器供应蒸汽来产生蒸汽等离子体焰炬，并且将硅原料供应到 蒸汽等离子体焰炬。
摘要（英）：
The present invention, the silicon oxide using a transmit an electromagnetic wave into the plasma generator, and to supply steam to the plasma generator to generate the steam plasma torch, comprising a tray of the silicon raw material with the steam plasma torch, the steam plasma torch It provides a method and apparatus for synthesizing.
公开/授权文献:
- KR101829935B1 스팀 플라즈마 토치를 이용한 실리콘 산화물 합성 방법 및 이의 실리콘 산화물 公开/授权日：2018-02-19
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C01 | 无机化学 |
| ----C01B | 非金属元素；其化合物 |
| ------C01B33/00 | 硅；其化合物 |
| --------C01B33/113 | .氧化硅；其水合物 |