레이저 처리 장치를 위한 다중 빔 결합기 및 방사 소스

专利标题： 레이저 처리 장치를 위한 다중 빔 결합기 및 방사 소스
专利标题（英）：Multiple beam combiner for laser processing apparatus
专利标题（中）：用于激光加工设备的多光束组合器
申请号：KR1020147017344 申请日：2012-12-13
公开(公告)号：KR1020140104973A 公开(公告)日：2014-08-29
发明人： 모파트,스테픈 , 홀름그렌,더글라스이. , 호웰스,사무엘씨. , 통,에드릭 , 아담스,브루스이. , 리,지핑 , 헌터,아론뮈르
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
申请人地址： **** Bowers Avenue, Santa Clara, CA *****, U.S.A.
专利权人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
当前专利权人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
当前专利权人地址： **** Bowers Avenue, Santa Clara, CA *****, U.S.A.
代理人： 양영준; 백만기
优先权： US61/576,671 2011-12-16
国际申请： PCT/US2012/069518 2012-12-13
国际公布： WO2013090581 2013-06-20
主分类号： H01L21/268
IPC分类号： H01L21/268 ; H01L21/26

摘要：

증폭된 방사의 빔들을 결합하기 위한 장치 및 방법이 개시된다. 빔 결합기는 시준 광학계를 갖는데, 이 시준 광학계는 복수의 가간섭성 방사 빔을 시준 광학계의 광학 축에 관하여 일정한 입사 각도에서 수신하도록 위치된다. 일부 실시예들에서는, 개별 입사 각도들이 상이할 수도 있다. 시준 광학계는 빔들을 시준하는 광학 속성을 갖는다. 광학 속성은 굴절 또는 반사, 또는 그들의 조합일 수 있다. 복수의 빔을 시준 광학계로 지향시키기 위해, 수집 광학계(collecting optic)가 더 제공될 수 있다. 빔 결합기는 레이저와 같은 셋 이상의 증폭된 가간섭성 방사 빔을 단일 빔으로 결합하기 위해 열 처리 장치 내에서 이용될 수 있다.

摘要（中）：

公开了用于组合放大辐射束的装置和方法。光束组合器具有准直光学器件，其被定位成以相对于准直光学器件的光轴的恒定入射角接收多个相干辐射束。在一些实施例中，相应的入射角也可以不同。准直光学元件具有使光束准直的光学特性。光学性质可以是折射或反射的，或其组合。还可以提供收集光学器件以将多个光束引导到准直光学元件。光束组合器可以用在热处理装置中，以将多于两个的相干放大辐射束（例如激光器）组合成单个光束。

摘要（英）：

An apparatus and method for combining the beams of the amplified radiation is disclosed. Beam combiner gatneunde the collimating optical system, the collimating optical system is positioned to receive at a constant angle of incidence with respect to the plurality of coherent radiation beams to the optical axis of the collimating optical system. In some embodiments, it is also possible to separate the incident angle are different. The collimator optical system has an optical property to collimate the beam. The optical property may be a refractive or reflective, or combinations of both. For directing a plurality of beams by the collimator optical system, a collection optical system (collecting optic) that can be further provided. Beam combiner may have a three or more amplification, such as a laser may be used in the thermal processing apparatus for combining a coherent beam of radiation into a single beam.

KR101696055B1 레이저 처리 장치를 위한 다중 빔 결합기 및 방사 소스 公开/授权日：2017-01-13

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H	电学
--H01	基本电气元件
----H01L	半导体器件；其他类目未包含的电固体器件
------H01L21/00	专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
--------H01L21/02	.半导体器件或其部件的制造或处理
----------H01L21/027	..未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜
------------H01L21/18	...器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料
--------------H01L21/26	....用波或粒子辐射轰击的
----------------H01L21/263	.....带有高能辐射的
------------------H01L21/268	......应用电磁辐射的，例如激光辐射

发明公开 KR1020140104973A 레이저 처리 장치를 위한 다중 빔 결합기 및 방사 소스 有权

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