基本信息:
- 专利标题: 고성능 무선 주파수 애플리케이션을 위한 송신선
- 专利标题(英):Transmission line for high performance radio frequency applications
- 专利标题(中):用于高性能无线电频率应用的传输线
- 申请号:KR1020147008549 申请日:2012-05-07
- 公开(公告)号:KR1020140074913A 公开(公告)日:2014-06-18
- 发明人: 페티-위크스,산드라루이스 , 장,구오하오 , 모디,하르디크부펜드라
- 申请人: 스카이워크스 솔루션즈, 인코포레이티드
- 申请人地址: ** Sylvan Road, Woburn MA, *****, USA
- 专利权人: 스카이워크스 솔루션즈, 인코포레이티드
- 当前专利权人: 스카이워크스 솔루션즈, 인코포레이티드
- 当前专利权人地址: ** Sylvan Road, Woburn MA, *****, USA
- 代理人: 양영준; 백만기; 정은진
- 优先权: US61/530,915 2011-09-02; US61/531,553 2011-09-06; US61/561,742 2011-11-18
- 国际申请: PCT/US2012/036836 2012-05-07
- 国际公布: WO2013032545 2013-03-07
- 主分类号: H01L29/417
- IPC分类号: H01L29/417 ; H04B1/40
摘要:
본 개시물은 고성능 무선 주파수(RF) 애플리케이션을 위한 송신선에 관한 것이다. 이러한 하나의 송신선은 RF 신호를 수신하도록 구성되는 본딩층, 배리어층, 확산 배리어층 및 확산 배리어층에 근접한 도전층을 포함할 수 있다. 확산 배리어층은 수신된 RF 신호가 확산 배리층을 관통하여 도전층으로 침투할 수 있게 하는 두께를 가질 수 있다. 특정 실시예에서, 확산 배리어층은 니켈일 수 있다. 이들 구현예의 일부에서, 송신선은 금 본딩층, 팔라듐 배리어층 및 니켈 확산 배리어층을 포함할 수 있다.
摘要(中):
本公开涉及用于高性能射频(RF)应用的传输线。 一个这样的传输线可以包括被配置为接收RF信号的结合层,阻挡层,扩散阻挡层和靠近扩散阻挡层的导电层。 扩散阻挡层可以具有允许接收的RF信号穿透到导电层的扩散阻挡层的厚度。 在某些实施方案中,扩散阻挡层可以是镍。 在这些实施方案中,传输线可以包括金结合层,钯阻挡层和镍扩散阻挡层。
摘要(英):
This disclosure relates to a transmission line for high-performance radio-frequency (RF) applications. Such a transmission line may comprise a conductive layer adjacent to the bonding layer, a barrier layer, the diffusion barrier layer and the diffusion barrier layer is configured to receive the RF signal. The diffusion barrier layer can have a thickness that allows the received RF signal can pass through the diffusion barrier layer to penetrate into the conductive layer. In certain embodiments, the diffusion barrier layer can be nickel. In some of these embodiments, transmission line may include a bonding layer of gold, palladium, a barrier layer and a nickel diffusion barrier layer.
公开/授权文献:
- KR101740102B1 고성능 무선 주파수 애플리케이션을 위한 송신선 公开/授权日:2017-05-25
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
H | 电学 |
--H01 | 基本电气元件 |
----H01L | 半导体器件;其他类目未包含的电固体器件 |
------H01L29/00 | 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件 |
--------H01L29/02 | .按其半导体本体的特征区分的 |
----------H01L29/41 | ..以其形状、相对尺寸或位置为特征的 |
------------H01L29/417 | ...通有待整流、放大或切换电流的 |