基本信息:
- 专利标题： 촉매의 흡착 처리 방법 및 흡착 처리 장치
- 专利标题（英）：Catalyst adsorption method and adsorption device
- 专利标题（中）：催化吸附方法和吸附装置
- 申请号：KR1020147006158 申请日：2012-08-08
- 公开(公告)号：KR1020140059796A 公开(公告)日：2014-05-16
- 发明人： 신구하라쇼소 , 이노우에후미히로 , 미야케히로시 , 아리마료헤이 , 이와시타미츠아키 , 타나까타카시
- 申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 더 스쿨 코포레이션 칸사이 유니버시티
- 申请人地址： *-* Akasaka *-chome, Minato-ku, Tokyo, Japan
- 专利权人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤,더 스쿨 코포레이션 칸사이 유니버시티
- 当前专利权人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤,더 스쿨 코포레이션 칸사이 유니버시티
- 当前专利权人地址： *-* Akasaka *-chome, Minato-ku, Tokyo, Japan
- 代理人： 특허법인엠에이피에스
- 优先权： JPJP-P-2011-197510 2011-09-09
- 国际申请： PCT/JP2012/070230 2012-08-08
- 国际公布： WO2013035480 2013-03-14
- 主分类号： C23C22/73
- IPC分类号： C23C22/73 ; B01J19/10 ; B01J23/44 ; H01L21/288 ; H01L21/3205 ; H01L21/768
摘要：
기판에 형성된 오목부의 하부에까지 충분히 촉매를 흡착시킬 수 있는 흡착 처리 방법을 제공한다. 먼저, 오목부(22)가 형성된 기판(20)을 준비한다. 이어서, 촉매 흡착 장치(10)에 의해 기판(20)과, 분산제로 피복된 나노 입자로 이루어지는 촉매를 포함하는 촉매 용액(12)을 접촉시키고, 이에 의해 기판(20)의 표면에 촉매(23)를 흡착시킨다. 이 때, 촉매 용액(12)에 고주파 진동이 부여된다.
摘要（中）：
催化剂吸附方法可以将催化剂充分地吸附到形成在基板中的凹部的下部。 准备形成有凹部22的基板20。 然后，通过使催化剂吸附装置10使基板20与含有催化剂的催化剂溶液12接触，将由分散剂涂布的纳米粒子形成的催化剂23吸附在基板20的表面。此时， 对催化剂溶液12施加振动。
摘要（英）：
Far lower concave portion formed in a substrate provides a sufficient adsorption treatment method capable of adsorbing the catalyst. First, preparing the substrate on which the recess 22 is formed (20). Then, contacting the catalyst solution 12 containing the catalyst made of the nano-particles coated with the substrate 20 and the dispersing agent by the catalytic adsorber 10, whereby the catalyst 23 on the surface of the substrate 20 by the adsorbed. At this time, the high frequency vibration is given to the catalyst solution (12).
公开/授权文献:
- KR101788586B1 촉매의 흡착 처리 방법 및 흡착 처리 장치 公开/授权日：2017-11-15