마이크로리소그래피용 조명 시스템

专利标题： 마이크로리소그래피용 조명 시스템
专利标题（英）：Illumination system for microlithography
专利标题（中）：微观照明系统
申请号：KR1020147004925 申请日：2010-01-25
公开(公告)号：KR1020140036043A 公开(公告)日：2014-03-24
发明人： 숄츠,악셀 , 쉴레세너,프랑크 , 하베르캄프,닐스 , 다비덴코,블라디미르 , 게르하르트,미카엘 , 지에글러,게르하르트-빌헬름 , 케른,미르코 , 비쇼프,토마스 , 스태믈러,토마스 , 켈너,스테판 , 몰,만프레드 , 발도르프,다니엘 , 후레비크,이고르 , 데군테르,마르쿠스
申请人： 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하
申请人地址： Rudolf-Eber-Strasse * ***** Oberkochen Germany
专利权人： 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하
当前专利权人： 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하
当前专利权人地址： Rudolf-Eber-Strasse * ***** Oberkochen Germany
代理人： 한양특허법인
优先权： DE10 2009 006 6853 2009-01-29
国际申请： PCT/EP2010/000411 2010-01-25
国际公布： WO2010086127 2010-08-05
主分类号： H01L21/027
IPC分类号： H01L21/027 ; G03F7/20

摘要：

마이크로리소그래피용 조명 시스템은 일차 광원의 조명 광으로 조명 필드를 조명하는 역할을 한다. 제1 래스터 배열(12)은 조명 시스템의 제1 면에 또는 상기 면에 인접하게 배열된 번들-형성 제1 래스터 소자(24)를 갖는다. 제1 래스터 배열(12)은 이차 광원의 래스터 배열을 생성하는 역할을 한다. 투과 광학기기는 조명 필드로의 이차 광원의 조명 광의 중첩된 투과를 위해 동작한다. 투과 광학기기는 번들-형성 제2 래스터 소자(26)를 갖는 제2 래스터 배열(15)을 갖는다. 각각의 경우에, 제1 래스터 배열(12)의 래스터 소자(24)는, 조명 광(8)의 전체 번들 중 부분 번들(25)을 안내하기 위해 제2 래스터 배열(15)의 래스터 소자(26) 중 하나에 할당된다. 예를 들면, 제1 래스터 배열(12)은 상이한 번들-영향 효과를 갖는 적어도 2가지 유형(Ⅰ, Ⅱ, Ⅲ)의 래스터 소자(24)를 갖는다. 2개의 래스터 배열(12, 15) 중 래스터 소자(24, 26)는, 각각의 래스터 소자 유형(Ⅰ~ Ⅲ)에 이 유형(Ⅰ~ Ⅲ)의 제1 래스터 소자(24)와 제2 래스터 배열(15)의 제2 래스터 소자(26)의 사이에서 적어도 하나의 별개의 거리(△
Ⅰ , △
Ⅱ , △
Ⅲ )가 할당되는 방식으로 서로에게 배열된다.

摘要（中）：

用于微光刻的照明系统用于利用一次光源的照明光照射照明场。第一光栅布置具有束形成的第一光栅元件，其布置在照明系统的第一平面中或与该平面相邻。第一光栅布置用于产生二次光源的光栅布置。传输光学器件用于将次级光源的照明光的叠加传输到照明场中。传输光学器件具有第二光栅装置，其具有束形成第二光栅元件。在每种情况下，第一光栅装置的一个光栅元件被分配给第二光栅布置的光栅元件之一，用于引导整束照明光的部分束。例如，第一光栅布置具有至少两种具有不同束影响效果的第一光栅元件（I，II，III）。两个光栅装置的光栅元件相对于彼此布置成使得每个光栅元素类型（I至III）被分配至少一个单独距离（＆Dgr; I，＆Dgr; II，＆Dgr; III）这种类型的第一光栅元素（I至III）和第二光栅布置的分配的第二光栅元素。结果，获得允许特定照明参数受到影响的照明系统，使得最大程度地避免对其他照明参数的不期望的影响。

摘要（英）：

An illumination system for microlithography is responsible for illuminating an illumination field with illumination light of the primary light source. First raster array 12 is adjacent to the first array on the surface or on the front bundle of the illumination system has a form a first raster element 24. First raster arrangement 12 serves to generate a raster array of secondary light source. Transmissive optical device is operative for transmitting a superimposed illumination light of a secondary light source in the illumination field. Transmission optics bundle, - and a second raster arrangement 15 having formed the second raster element 26. In each case, the first raster element 24, the raster elements (26 of the second raster arrangement 15 for guiding the whole bundle portion bundle 25 of the illumination light 8 of the raster array 12 ) it is assigned to one of the. For example, the first raster array 12 is different bundles - has a raster element 24 of at least two types (Ⅰ, Ⅱ, Ⅲ) having an impact effect. Two raster arrangement (12, 15) raster element (24, 26), the first raster element 24 and a second raster arrangement of this type (Ⅰ ~ Ⅲ) for each raster element type (Ⅰ ~ Ⅲ) (15) a second distinct distance between at least one of the raster elements _{(26) (△ ⅰ, △} ⅱ, △ ⅲ) of is arranged on each other in such a way that allocation.

KR101706830B1 마이크로리소그래피용 조명 시스템 公开/授权日：2017-02-27

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H	电学
--H01	基本电气元件
----H01L	半导体器件；其他类目未包含的电固体器件
------H01L21/00	专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
--------H01L21/02	.半导体器件或其部件的制造或处理
----------H01L21/027	..未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜

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