基本信息:
- 专利标题： 포토애시드 발생제를 함유하는 말단 그룹을 포함하는 폴리머, 그 폴리머를 포함하는 포토레지스트, 및 장치의 제조방법
- 专利标题（英）：Polymer comprising end groups containing photoacid generator, photoresist comprising the polymer, and method of making a device
- 专利标题（中）：包含光致发生器的端部组合物，包含聚合物的光电聚合物的聚合物，以及制造器件的方法
- 申请号：KR1020130104055 申请日：2013-08-30
- 公开(公告)号：KR1020140029330A 公开(公告)日：2014-03-10
- 发明人： 크레이머존더블유. , 아리올라다니엘제이.
- 申请人： 다우 글로벌 테크놀로지스 엘엘씨
- 申请人地址： **** Dow Center Midland, Michigan *****, USA
- 专利权人： 다우 글로벌 테크놀로지스 엘엘씨
- 当前专利权人： 다우 글로벌 테크놀로지스 엘엘씨
- 当前专利权人地址： **** Dow Center Midland, Michigan *****, USA
- 代理人： 최규팔
- 优先权： US61/695,767 2012-08-31
- 主分类号： C08F20/10
- IPC分类号： C08F20/10 ; C08F28/00 ; G03F7/004 ; G03F7/028
摘要：
A polymer of the present invention includes a product which is formed by polymerizing an unsaturated monomer represented by chemical formula (I) and a chain transfer agent. In the chemical formula (I), X1 represents a single bond and is -O-, -S-, -C(=O)-O-, -O-C(=O)-, -O-C(=O)-O-, -C(=O)-NR-, -NR-C(=O)-, -NR-C(=O)-NR-, -S(=O)2-O-, -O-S(=O)2-O-, -NR-S(=O)2-, or -S(=O)2-NR, wherein R is H, C1-10 alkyl, C3-10 cycloalkyl, or C6-10 aryl. [Reference numerals] (AA) Film thickness(�)
摘要（中）：
本发明的聚合物包括通过使由化学式（I）表示的不饱和单体和链转移剂聚合形成的产物。 在化学式（I）中，X 1表示单键，并且是-O - ， - S-，-C（= O）-O-，-OC（= O） - ， - OC（= O）-O- ，-C（= O）-NR - ， - NR-C（= O） - ， - NR-C（= O）-NR - ， - S（= O）2-O-，-OS（= O） 2-O-，-NR-S（= O）2 - 或-S（= O）2 -NR，其中R是H，C 1-10烷基，C 3-10环烷基或C 6-10芳基。 （附图标记）（AA）膜厚度（ ）