基本信息:
- 专利标题： 금속 프루프 매스 및 압전 컴포넌트를 포함하는 마이크로 전자기계식 시스템 디바이스
- 专利标题（英）：Microelectromechanical system device including a metal proof mass and a piezoelectric component
- 专利标题（中）：包含金属质量和压电元件的微电子机电系统装置
- 申请号：KR1020137027103 申请日：2012-03-09
- 公开(公告)号：KR1020140012138A 公开(公告)日：2014-01-29
- 发明人： 블랙저스틴펠프스 , 가나파티스리니바산코다가날루르 , 스테파노우필립제이슨 , 피터슨커트에드워드 , 아카르센크 , 쉐노이라빈드라바만 , 부찬니콜라스이안
- 申请人： 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스 인크.
- 申请人地址： **** Morehouse Drive, San Diego, CA *****-****, U.S.A.
- 专利权人： 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스 인크.
- 当前专利权人： 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스 인크.
- 当前专利权人地址： **** Morehouse Drive, San Diego, CA *****-****, U.S.A.
- 代理人： 특허법인코리아나
- 优先权： US13/048,798 2011-03-15
- 国际申请： PCT/US2012/028624 2012-03-09
- 国际公布： WO2012125503 2012-09-20
- 主分类号： H01L41/08
- IPC分类号： H01L41/08 ; H01L41/113 ; B81B3/00 ; G01C19/56
摘要：
본 개시물은 전자기계식 디바이스들에 대한 시스템들, 장치들 및 디바이스들 및 제조 방법들을 개시한다. 일 구현에서, 장치는 MEMS 디바이스의 일 부분으로서 금속 프루프 매스 및 압전 컴포넌트를 포함한다. 이러한 장치는 MEMS 자이로스코프 디바이스들에 특히 유용할 수 있다. 예를 들어, 실리콘보다 수배 큰 밀도를 가질 수도 있는 금속 프루프 매스는 MEMS 디바이스에서 직교 및 바이어스 에러를 감소시킬 수 있고, MEMS 자이로스코프 디바이스의 감도를 증가시킬 수 있다.
摘要（英）：
The disclosure discloses a system, apparatus and devices and manufacturing method for the electro-mechanical device. In one embodiment, the apparatus comprises a metal proof mass and the piezoelectric component as a portion of the MEMS device. Such devices may be particularly useful in a MEMS gyroscope device. For example, metal proof mass which may have a several times larger than the silicon density may be reduced and the quadrature bias error in the MEMS device, it is possible to increase the sensitivity of the MEMS gyroscope device.
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H04 | 电通信技术 |
| ----H04R | 扬声器、送话器、唱机拾音器或类似的传感器 |
| ------H01L41/08 | .压电器件或电致伸缩器件 |