基本信息:
- 专利标题： 코팅을 생성하기 위한 플라즈마 처리 장치
- 专利标题（英）：Plasma treatment device for producing coatings
- 专利标题（中）：用于生产涂料的等离子体处理装置
- 申请号：KR1020137021592 申请日：2012-01-17
- 公开(公告)号：KR1020140007842A 公开(公告)日：2014-01-20
- 发明人： 비커마티아스 , 로마이어만프레트 , 바우흐하르트무트
- 申请人： 쇼오트 아게
- 申请人地址： Hattenbergstrasse **, ***** Mainz, Germany
- 专利权人： 쇼오트 아게
- 当前专利权人： 쇼오트 아게
- 当前专利权人地址： Hattenbergstrasse **, ***** Mainz, Germany
- 代理人： 김태홍
- 优先权： DE10 2011 009 0576 2011-01-20
- 国际申请： PCT/EP2012/000162 2012-01-17
- 国际公布： WO2012097972 2012-07-26
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32 ; B05D7/22 ; B05D1/00 ; C03C17/00 ; C03C17/28 ; B05D3/14 ; C23C16/04 ; A61M5/31
摘要：
본 발명은 외부 대기압으로부터 밀폐된 플라즈마 구역을 이용하여 층을 처리하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 장치는 컨테이너 수용 수단 형태의 기판 캐리어를 포함하는 플라즈마 반응기, 및 리프팅 장치에 의해 기판 캐리어와 결합되는 폐쇄 요소를 포함한다.
摘要（中）：
提供一种用于处理层的设备和方法，其使用从外部大气压力密封的等离子体区域。 该装置包括具有容器接收装置形式的基板载体的等离子体反应器和通过提升装置与基板载体接合的关闭元件。
摘要（英）：
The present invention relates to an apparatus and method for processing a layer using a plasma zone enclosed from the outside atmospheric pressure. The apparatus includes a closure element which is combined with the carrier substrate by a plasma reactor, and a lifting device comprising a substrate carrier in the container receiving means form.
公开/授权文献:
- KR101684728B1 코팅을 생성하기 위한 플라즈마 처리 장치 公开/授权日：2016-12-08