基本信息:
- 专利标题: 용융 실리콘 플로우 및 정제를 위한 가스-리프트 펌프들
- 专利标题(英):Gas-lift pumps for flowing and purifying molten silicon
- 专利标题(中):用于流动和净化固体硅的气体提升泵
- 申请号:KR1020127031678 申请日:2011-03-04
- 公开(公告)号:KR1020130100064A 公开(公告)日:2013-09-09
- 发明人: 켈러만,피터,엘. , 칼슨,프레드릭
- 申请人: 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
- 申请人地址: 미국 ***** 매사추세츠주 글로스터 도리 로드 **
- 专利权人: 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
- 当前专利权人: 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
- 当前专利权人地址: 미국 ***** 매사추세츠주 글로스터 도리 로드 **
- 代理人: 특허법인에이아이피
- 优先权: US13/039,789 2011-03-03; US61/332,068 2010-05-06
- 国际申请: PCT/US2011/027198 2011-03-04
- 国际公布: WO2011139406 2011-11-10
- 主分类号: C30B11/00
- IPC分类号: C30B11/00 ; C30B29/06
摘要:
본원에서의 실시예들은 시트(sheet)생산 장치에 관련된다. 용기는 재료의 용융물을 담도록 구성되고 그리고 냉각판이 용융물에 근접하여 배치된다.이 냉각 판은 용융물상에서 재료의 시트를 형성하도록 구성된다.펌프가 사용된다. 일 예로서, 이 펌프는 가스 소스 및 가스 소스를 가진 유체 통로내에 도관(conduit)를 포함한다. 다른 예에서, 이 펌프는 용융물에 가스를 주입한다. 이 가스는 용융물을 상승시키거나 또는 용융물에 모멘텀(momentum)을 제공한다.
摘要(英):
Examples of the present application relate to a sheet (sheet) producing system. The container is configured to contain a melt of material and are arranged in the cooling plates close to the melt. The cold plate is configured to form a sheet of the material on the melt. The pump is used. As one example, the pump includes a conduit (conduit) in the fluid passage with the gas source and the gas source. In another example, the pump injects the gas into the melt. The gas provides to raise the melt, or momentum (momentum) to the melt.
公开/授权文献:
- KR101781398B1 용융 실리콘 플로우 및 정제를 위한 가스-리프트 펌프들 公开/授权日:2017-09-25