基本信息:
- 专利标题： 정전 척 로봇 시스템
- 专利标题（英）：Electrostatic chuck robotic system
- 专利标题（中）：静电卡车机械系统
- 申请号：KR1020120069779 申请日：2012-06-28
- 公开(公告)号：KR1020130061041A 公开(公告)日：2013-06-10
- 发明人： 카오충엔 , 초우유후아 , 이치충 , 쿠오밍시우
- 申请人： 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드
- 申请人地址： No. *, Li-Hsin Road *, Hsinchu Science Park, Hsinchu, Taiwan
- 专利权人： 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드
- 当前专利权人： 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드
- 当前专利权人地址： No. *, Li-Hsin Road *, Hsinchu Science Park, Hsinchu, Taiwan
- 代理人： 김태홍; 신정건
- 优先权： US13/307,089 2011-11-30
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677 ; B25J15/06 ; B25J9/04 ; B65G49/07
摘要：
PURPOSE: An electrostatic chuck robot system is provided to facilitate a carrying process by mounting an object carrier on the arm of a robot. CONSTITUTION: A blade(106) includes electrodes. A joint(120) includes a first transformer coil and a second transformer coil. The joint produces a mutual inductance between the first transformer coil and the second transformer coil. The joint supplies contactless power to the first transformer coil and the second transformer coil. A pair of arms(116A,116B) is rotatably connected to the blade. [Reference numerals] (128) Power source; (136) Control unit
摘要（中）：
目的：提供一种静电吸盘机器人系统，通过将物体载体安装在机器人的手臂上，便于携带过程。 构成：刀片（106）包括电极。 接头（120）包括第一变压器线圈和第二变压器线圈。 接头在第一变压器线圈和第二变压器线圈之间产生互感。 接头为第一变压器线圈和第二变压器线圈提供非接触电力。 一对臂（116A，116B）可旋转地连接到叶片。 （附图标记）（128）电源; （136）控制单元
公开/授权文献:
- KR101401774B1 정전 척 로봇 시스템 公开/授权日：2014-06-02