基本信息:
- 专利标题： 특히 가스 방전 광원들을 위한 전극 시스템
- 专利标题（英）：Electrode system, in particular for gas discharge light sources
- 专利标题（中）：电极系统，特别用于气体放电光源
- 申请号：KR1020127013692 申请日：2010-09-29
- 公开(公告)号：KR1020120112425A 公开(公告)日：2012-10-11
- 发明人： 메츠마허,크리스토프 , 존커스,예로엔 , 아페츠,롤프,테.,아.
- 申请人： 코닌클리케 필립스 엔.브이. , 우시오덴키 가부시키가이샤
- 申请人地址： High Tech Campus *, **** AE Eindhoven, The Netherlands
- 专利权人： 코닌클리케 필립스 엔.브이.,우시오덴키 가부시키가이샤
- 当前专利权人： 코닌클리케 필립스 엔.브이.,우시오덴키 가부시키가이샤
- 当前专利权人地址： High Tech Campus *, **** AE Eindhoven, The Netherlands
- 代理人： 양영준; 백만기
- 优先权： EP091744292 2009-10-29
- 国际申请： PCT/IB2010/054379 2010-09-29
- 国际公布： WO2011051839 2011-05-05
- 主分类号： H05G2/00
- IPC分类号： H05G2/00 ; H01L21/027 ; G21K5/00 ; G03F7/20
摘要：
본 발명은 특히 EUV 방사 및/또는 소프트 X-레이들을 발생하기 위한 가스 방전 디바이스의 전극 시스템에 관한 것이다. 전극 시스템은 주성분으로서 Mo, 또는 W, 또는 Mo 또는 W의 합금을 포함하는 전극 물질로 형성되는 적어도 2개의 전극(1, 2)을 포함한다. 전극 물질은 평균 사이즈가
摘要（中）：
本发明涉及一种电极系统，特别涉及用于产生EUV辐射和/或软X射线的气体放电装置。 电极系统包括由含有Mo或W的电极材料形成的至少两个电极（1,2）或以Mo或W为主要成分的合金。 电极材料具有细颗粒结构，其具有平均尺寸小于500nm的细晶粒。 利用所提出的电极系统，实现了电极的高热机械和耐热化学性。 因此，电极系统可以在使用液体Sn的已知的EUV光源中使用并且在高温下操作。
摘要（英）：
The present invention relates to an electrode system of the gas discharge device for generating in particular EUV radiation and / or soft X- rays. Electrode system comprises at least two electrodes (1, 2) as a main component is formed as an electrode material containing an alloy of Mo, or W, or Mo or W. Electrode materials with an average size <500nm has a fine structure with a fine particle. According to the suggested electrode system is realized with high thermomechanical and thermochemical resistance of the electrode. Therefore, the electrode system can be used in the known EUV light source is operated at a high temperature using a liquid Sn.
公开/授权文献:
- KR101706908B1 특히 가스 방전 광원들을 위한 전극 시스템 公开/授权日：2017-02-15
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H05 | 其他类目不包含的电技术 |
| ----H05G | X射线技术 |
| ------H05G2/00 | 没有X射线管的、专用于产生X射线的设备或方法，如有等离子产生 |