基本信息:
- 专利标题： 박막 증착 장치
- 专利标题（英）：Apparatus for thin layer deposition
- 专利标题（中）：薄层沉积设备
- 申请号：KR1020100118961 申请日：2010-11-26
- 公开(公告)号：KR1020120057290A 公开(公告)日：2012-06-05
- 发明人： 오언석 , 최용중 , 이명기
- 申请人： 삼성디스플레이 주식회사
- 申请人地址： 경기 용인시 기흥구 삼성로*(농서동)
- 专利权人： 삼성디스플레이 주식회사
- 当前专利权人： 삼성디스플레이 주식회사
- 当前专利权人地址： 경기 용인시 기흥구 삼성로*(농서동)
- 代理人： 리앤목특허법인
- 主分类号： C23C14/04
- IPC分类号： C23C14/04 ; C23C14/24 ; C23C14/56 ; H01L21/67 ; H01L21/677 ; H01L51/56 ; C23C14/12
摘要：
PURPOSE: A thin film deposition apparatus is provided to prevent a failure due to contact between a substrate and a pattering slit sheet. CONSTITUTION: A thin film deposition apparatus(100) comprises an evaporation source(110), an evaporation source nozzle unit(120), and a patterning slit sheet(150). The evaporation source emits a deposition material. The evaporation source nozzle unit is arranged on one side of the evaporation source and has a plurality of evaporation source nozzles(121) formed in a first direction. The patterning slit sheet is arranged opposite to the evaporation source nozzle unit and has a plurality of sub patterning slits(152b) formed in a second direction perpendicular to the first direction. The patterning slit sheet comprises a base sheet and patterning bars(153a) which are arranged between the sub patterning slits to form a pattering slits.
摘要（中）：
目的：提供一种薄膜沉积装置，以防止由于基板和图案狭缝片之间的接触而导致的故障。 构成：薄膜沉积装置（100）包括蒸发源（110），蒸发源喷嘴单元（120）和图案化缝隙片（150）。 蒸发源发出沉积材料。 蒸发源喷嘴单元布置在蒸发源的一侧，并且具有沿第一方向形成的多个蒸发源喷嘴（121）。 图案化缝隙片与蒸发源喷嘴单元相对地布置，并且具有沿垂直于第一方向的第二方向形成的多个副图案化缝隙（152b）。 图形化缝隙片包括基片和布置在子图形缝隙之间的图案形成条（153a），以形成图案狭缝。