基本信息:
- 专利标题： 복합 기판 및 복합 기판의 제조 방법
- 专利标题（英）：Composite substrate and composite substrate manufacturing method
- 专利标题（中）：复合基板和复合基板制造方法
- 申请号：KR1020110116208 申请日：2011-11-09
- 公开(公告)号：KR1020120052160A 公开(公告)日：2012-05-23
- 发明人： 다이도모요시 , 호리유지
- 申请人： 엔지케이 인슐레이터 엘티디
- 申请人地址： *-** Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi-ken, ***-**** Japan
- 专利权人： 엔지케이 인슐레이터 엘티디
- 当前专利权人： 엔지케이 인슐레이터 엘티디
- 当前专利权人地址： *-** Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi-ken, ***-**** Japan
- 代理人： 김태홍
- 优先权： JPJP-P-2010-254431 2010-11-15
- 主分类号： H01L27/12
- IPC分类号： H01L27/12 ; H01L21/20
摘要：
PURPOSE: A composite substrate and a manufacturing method thereof are provided to prevent bending or crack generation of the composite substrate during a thermal process by arranging similar thermal expansion coefficients of a first substrate and a second substrate. CONSTITUTION: A first substrate(21) which includes boron group nitrides and a second substrate(12) which includes ceramics are arranged. An ion injection layer(21c) is formed inside the first substrate by injecting hydrogen ions or noble gas ions on the rear surface(21b) of the first substrate. A metal film(23) is formed using a chemical vapor deposition method or a physical vapor deposition method on the surface(12a) of the second substrate. The rear surface of the first substrate and the surface of the second substrate are attached through the metal film. The surface of the first substrate is stripped from the ion injection layer.
摘要（中）：
目的：提供一种复合基板及其制造方法，用于通过布置与第一基板和第二基板相似的热膨胀系数来防止热处理期间复合基板的弯曲或裂纹产生。 构成：布置有包括硼族氮化物的第一衬底（21）和包括陶瓷的第二衬底（12）。 通过在第一基板的后表面（21b）上注入氢离子或惰性气体离子，在第一基板的内部形成离子注入层（21c）。 在第二基板的表面（12a）上使用化学气相沉积法或物理气相沉积法形成金属膜（23）。 第一基板的后表面和第二基板的表面通过金属膜附着。 从离子注入层剥离第一基板的表面。