基本信息:
- 专利标题： 웨이퍼 운반 로봇을 교정하기 위한 시각화 시스템 및 방법
- 专利标题（英）：Vision system and method for calibrating a wafer carrying robot
- 专利标题（中）：用于校准携带机器人的波浪的视觉系统和方法
- 申请号：KR1020127002748 申请日：2004-03-09
- 公开(公告)号：KR1020120044998A 公开(公告)日：2012-05-08
- 发明人： 새딕히,이라즈 , 허드젠스,제프 , 라이스,마이클 , 위카,게리
- 申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
- 申请人地址： **** Bowers Avenue, Santa Clara, CA *****, U.S.A.
- 专利权人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
- 当前专利权人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
- 当前专利权人地址： **** Bowers Avenue, Santa Clara, CA *****, U.S.A.
- 代理人： 특허법인 남앤드남
- 优先权： US10/387,267 2003-03-11
- 国际申请： PCT/US2004/007202 2004-03-09
- 国际公布： WO2004082014 2004-09-23
- 主分类号： H01L21/68
- IPC分类号： H01L21/68 ; H01L21/677 ; B25J13/08
摘要：
처리 시스템 내에 배치된 로봇의 운동을 교정하기 위한 시각화 시스템 및 방법이 제공된다. 일 실시예에서, 처리 시스템을 위한 시각화 시스템은 처리 시스템 내에 위치한 카메라와 교정 웨이퍼를 포함한다. 카메라는 로봇 상에 위치하고 처리 시스템의 미리 정의된 위치에 배치된 교정 웨이퍼의 이미지 데이터를 얻는다. 이미지 데이터는 로봇 운동을 교정하는데 이용된다.
摘要（英）：
The visualization system and method for calibrating the movement of a robot disposed in a processing system is provided. In one embodiment, the visualization system for the processing system includes a camera and a calibration wafer located within the processing system. The camera is located on the robot to obtain the image data of the calibration wafer placed in the predefined position of the treatment system. Image data is used to calibrate the robot movement.
公开/授权文献:
- KR101227934B1 웨이퍼 운반 로봇을 교정하기 위한 시각화 시스템 및 방법 公开/授权日：2013-01-31