基本信息:
- 专利标题： 피처리체의 냉각 방법 및 피처리체 처리 장치
- 专利标题（英）：Method for cooling subject to be processed, and apparatus for processing subject to be processed
- 专利标题（中）：用于冷却待处理的方法，以及待处理的处理装置
- 申请号：KR1020117022133 申请日：2010-03-30
- 公开(公告)号：KR1020110120339A 公开(公告)日：2011-11-03
- 发明人： 다다노리토모 , 호리우치다카시
- 申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
- 申请人地址： *-* Akasaka *-chome, Minato-ku, Tokyo, Japan
- 专利权人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
- 当前专利权人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
- 当前专利权人地址： *-* Akasaka *-chome, Minato-ku, Tokyo, Japan
- 代理人： 제일특허법인
- 优先权： JPJP-P-2009-081072 2009-03-30
- 国际申请： PCT/JP2010/055687 2010-03-30
- 国际公布： WO2010113941 2010-10-07
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683 ; H01L21/67 ; H01L21/02
摘要：
피처리체를 냉각하는 냉각 방법을 개시한다. 이 냉각 방법은 가열 상태에 있는 피처리체를 스테이지 상에 탑재하는 공정과, 스테이지 상에 탑재된 피처리체 중심을 포함하는 중심 근방의 영역에 냉각 가스를 분사하고, 피처리체를 냉각하는 공정을 구비한다.
摘要（英）：
It discloses a cooling method for cooling an object to be processed. And a cooling method comprising the step of spraying the cooling gas in the region of the central vicinity, including the center of the object piece mounted on the step and the stage for mounting the object to be processed in the heated state on the stage, and cooling the subject to be treated .