基本信息:
- 专利标题： 레이저를 이용한 플렉서블 바이오센서 및 이를 이용한 검출방법
- 专利标题（英）：Manufacturing method for flexible biosensor and sensing method using the same
- 专利标题（中）：用于柔性生物传感器的制造方法和使用该方法的感测方法
- 申请号：KR1020100036651 申请日：2010-04-21
- 公开(公告)号：KR1020110117282A 公开(公告)日：2011-10-27
- 发明人： 이건재 , 이상용 , 김승준 , 유현균 , 이석재 , 안치원 , 박재홍 , 박태정 , 이상엽
- 申请人： 한국과학기술원
- 申请人地址： 대전광역시 유성구 대학로 ***(구성동)
- 专利权人： 한국과학기술원
- 当前专利权人： 한국과학기술원
- 当前专利权人地址： 대전광역시 유성구 대학로 ***(구성동)
- 代理人： 특허법인 다해
- 主分类号： G01N33/52
- IPC分类号： G01N33/52 ; H01L29/786 ; G01N33/00
본 발명에 따른 플렉서블 바이오센서는 플렉서블 하부 기판;
상기 플렉서블 하부 기판의 상부에 적층되며, 제 1형 불순물이 도핑된 소스 및 드레인 영역이 소정 간격으로 이격되어 형성된 실리콘 기판; 및 상기 실리콘 기판에 적층된 소스, 드레인 및 게이트 전극을 포함하며, 여기에서 상기 게이트 전극에는 생물학적 활성 물질을 검출하는 검출 물질이 고정화되며, 상기 실리콘 기판은 레이저에 의하여 결정화된 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 바이오센서는 플렉서블 기판상에 직접 구현되므로, 실리콘 기판에서 소자 기판을 제조한 후, 플렉서블 기판으로 전사시키는 종래 기술에 비하여 경제성이 우수하다.
This detection method is provided by a flexible bio-sensors and using this, a laser.
Flexible biosensor according to the present invention is a flexible lower substrate;
A silicon substrate is laminated on top of the lower flexible substrate, the first-type impurity doped source and drain regions spaced apart by a predetermined distance; And comprising a source, a drain, and a gate electrode stacked on the silicon substrate, this is a detection material for detecting a biologically active substance, the said gate electrode immobilized in said silicon substrate is characterized in that the crystallization by means of laser, the biosensor according to the invention is directly implemented on a flexible substrate, the economic efficiency is excellent over the prior art that after producing the element substrate in the silicon substrate, and transferred to a flexible substrate.