基本信息:
- 专利标题: 디지털 X선 디텍터의 제작 공정 검사 장치 및 방법
- 专利标题(英):Apparatus and method for checking for making process of digital x-ray detector
- 专利标题(中):用于检查数字X射线探测器制作过程的装置和方法
- 申请号:KR1020090114041 申请日:2009-11-24
- 公开(公告)号:KR1020110057579A 公开(公告)日:2011-06-01
- 发明人: 김미숙 , 김형준 , 신철우 , 윤정기
- 申请人: 주식회사 디알텍
- 申请人地址: 경기도 성남시 중원구 둔촌대로***번길 ** (상대원동)
- 专利权人: 주식회사 디알텍
- 当前专利权人: 주식회사 디알텍
- 当前专利权人地址: 경기도 성남시 중원구 둔촌대로***번길 ** (상대원동)
- 代理人: 특허법인 신지; 유경열
- 主分类号: G01N21/958
- IPC分类号: G01N21/958 ; H01L21/66
摘要:
PURPOSE: An apparatus and a method for checking the manufacturing process of a digital x-ray detector are provided to check foremgin materials between a TFT substrate and a photoconductive layer in detail. CONSTITUTION: An apparatus for checking the manufacturing process of a digital x-ray detector comprises a visible light irradiation unit(10), a transmitted light irradiation unit(20), and a light receiving unit(30). The visible light irradiation unit irradiates visible light to one surface of a substrate(45). The transmitted light irradiation unit irradiates light passing through a photoconductive layer(40) to the other surface of the substrate. The light receiving unit collects the visible light and the light passing through the photoconductive layer.
摘要(中):
目的:提供一种用于检查数字X射线检测器的制造过程的装置和方法,以详细检查TFT基板和光电导层之间的材料。 构成:用于检查数字X射线检测器的制造过程的装置,包括可见光照射单元(10),透射光照射单元(20)和光接收单元(30)。 可见光照射单元将可见光照射到基板(45)的一个表面。 透射光照射部将通过光电导层(40)的光照射到基板的另一面。 光接收单元收集可见光和通过光电导层的光。
公开/授权文献:
- KR101108706B1 디지털 X선 디텍터의 제작 공정 검사 장치 및 방법 公开/授权日:2012-01-30
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
G | 物理 |
--G01 | 测量;测试 |
----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
------G01N21/00 | 利用光学手段,即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
--------G01N21/01 | .便于进行光学测试的装置或仪器 |
----------G01N21/88 | ..测试瑕疵、缺陷或污点的存在 |
------------G01N21/95 | ...特征在于待测物品的材料或形状 |
--------------G01N21/958 | ....检测透明材料 |