基本信息:
- 专利标题： Apparatus of evaporation and control method the same
- 专利标题（中）：蒸发和控制方法的设备
- 申请号：KR20090048648 申请日：2009-06-02
- 公开(公告)号：KR20100130005A 公开(公告)日：2010-12-10
- 发明人： HWANG MIN JEONG , CHA YOU MIN , CHO WON SEOK , PARK JAE MORK , PARK JAE WAN , AHN JAE HONG
- 申请人： SAMSUNG MOBILE DISPLAY CO LTD
- 专利权人： SAMSUNG MOBILE DISPLAY CO LTD
- 当前专利权人： SAMSUNG MOBILE DISPLAY CO LTD
- 优先权： KR20090048648 2009-06-02
- 主分类号： C23C14/56
- IPC分类号： C23C14/56 ; C23C16/54
摘要：
PURPOSE: A deposition apparatus and a control method thereof are provided to continue the operation of a cluster even when a part of reaction chambers doesn't work. CONSTITUTION: A deposition apparatus comprises a first chamber(2), a second chamber(3), a third chamber(4), a transfer chamber(5), and a controller. The first chamber is set to deposit a first deposition material in on an object. The second chamber is set to deposit a second deposition material different from the first deposition material on the object. The third chamber is set to deposit the first deposition material on the object. The transfer chamber is connected to the first through third chambers and supplies the object to one of the three chambers. The controller transfers the object from the transfer chamber to one of the three chambers to be deposited.
摘要（中）：
目的：提供一种沉积设备及其控制方法，以便即使当反应室的一部分不起作用时仍继续进行簇的操作。 构成：沉积装置包括第一室（2），第二室（3），第三室（4），传送室（5）和控制器。 设置第一室以将第一沉积材料沉积在物体上。 第二室被设定为将不同于第一沉积材料的第二沉积材料沉积在物体上。 第三室设置成将第一沉积材料沉积在物体上。 传送室连接到第一至第三室，并将物体供应到三个室中的一个。 控制器将物体从传送室转移到要沉积的三个室中的一个。
公开/授权文献:
- KR101146981B1 Apparatus of evaporation and control method the same 公开/授权日：2012-05-22