基本信息:
- 专利标题: 접합 방법 및 접합 장치
- 专利标题(英):Bonding method and bonding apparatus
- 专利标题(中):接合方法和接合装置
- 申请号:KR1020107023927 申请日:2009-04-30
- 公开(公告)号:KR1020100126561A 公开(公告)日:2010-12-01
- 发明人: 오노야스히데 , 타니구치케이스케 , 타케우치타츠야 , 하기하라타이조
- 申请人: 신코 세이키 가부시키가이샤 , 오노 야스히데
- 申请人地址: *-**, Takatsukadai *-chome, Nishi-ku, Kobe-shi, Hyogo ***-****, JAPAN
- 专利权人: 신코 세이키 가부시키가이샤,오노 야스히데
- 当前专利权人: 신코 세이키 가부시키가이샤,오노 야스히데
- 当前专利权人地址: *-**, Takatsukadai *-chome, Nishi-ku, Kobe-shi, Hyogo ***-****, JAPAN
- 代理人: 하영욱
- 优先权: JPJP-P-2008-120291 2008-05-02
- 国际申请: PCT/JP2009/058459 2009-04-30
- 国际公布: WO2009133919 2009-11-05
- 主分类号: H05K3/32
- IPC分类号: H05K3/32 ; H01L21/60 ; B23K31/02
摘要:
본 발명은 피접합물끼리의 전기적인 접촉성을 악화시키지 않고, 용이하게 저온에서 접합하는 것을 과제로 한다.
이를 위해, 외부 인출 전극(5)의 표면 상에 돌기 전극(6)을 갖는 반도체칩(2) 및 중간 기판(3)의 돌기 전극(8)의 표면에 대하여 수소 라디칼에 의해 산화막 환원 처리를 행하고, 그 후, 반도체칩(2) 및 중간 기판(3)의 외부 인출 전극(8) 및 돌기 전극(6)의 위치 맞춤을 행함과 아울러, 그 후, 하중을 가해서 접합한다.
摘要(英):
이를 위해, 외부 인출 전극(5)의 표면 상에 돌기 전극(6)을 갖는 반도체칩(2) 및 중간 기판(3)의 돌기 전극(8)의 표면에 대하여 수소 라디칼에 의해 산화막 환원 처리를 행하고, 그 후, 반도체칩(2) 및 중간 기판(3)의 외부 인출 전극(8) 및 돌기 전극(6)의 위치 맞춤을 행함과 아울러, 그 후, 하중을 가해서 접합한다.
The present invention will be problem that without deteriorating the electrical contact between the members to be joined together, easily bonded at a low temperature.
To this end, relative to the surface of the external extension electrode 5 the semiconductor chip 2 and the intermediate substrate 3 the projection electrodes 8 having the protrusion electrodes 6 on the surface of the carried oxide film reduction treatment by the hydrogen radical Thereafter, the alignment of the semiconductor chip 2 and the intermediate substrate 3 the external lead-out electrode 8 and the protrusion electrodes 6 of and works well, and then, bonded by applying a load.
公开/授权文献:
- KR101233282B1 접합 방법 및 접합 장치 公开/授权日:2013-02-14
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
H | 电学 |
--H05 | 其他类目不包含的电技术 |
----H05K | 印刷电路;电设备的外壳或结构零部件;电气元件组件的制造 |
------H05K3/00 | 用于制造印刷电路的设备或方法 |
--------H05K3/02 | .其中将导电材料敷至绝缘支承物的表面上,而后再将其导电材料从不希望让电流通导或屏蔽的表面区域中去除的 |
----------H05K3/32 | ..电元件或导线与印刷电路的电连接 |