基本信息:
- 专利标题： 형상 측정 장치 및 방법
- 专利标题（英）：Shape measuring apparatus and method thereof
- 专利标题（中）：形状测量装置及其方法
- 申请号：KR1020107020251 申请日：2010-03-09
- 公开(公告)号：KR1020100124757A 公开(公告)日：2010-11-29
- 发明人： 하마노세이지 , 오오타사다후미 , 스가타후미오 , 기쿠치요시히로
- 申请人： 파나소닉 주식회사
- 申请人地址： ****, Oaza Kadoma, Kadoma-shi, Osaka, Japan
- 专利权人： 파나소닉 주식회사
- 当前专利权人： 파나소닉 주식회사
- 当前专利权人地址： ****, Oaza Kadoma, Kadoma-shi, Osaka, Japan
- 代理人： 최재철; 서장찬
- 优先权： JPJP-P-2009-067183 2009-03-19
- 国际申请： PCT/JP2010/001643 2010-03-09
- 国际公布： WO2010106758 2010-09-23
- 主分类号： G01B11/24
- IPC分类号： G01B11/24 ; G01B9/02
摘要：
광원(90)으로부터 출사한 광을 평행광으로 하고, 그 평행광을 2개로 분기시키고, 분기된 광의 1개를 원추 렌즈(104)에 의해 거리에 걸쳐서 광축 위의 에너지 밀도가 극대가 되는 광(빔)으로 바꾸어 피측정물(105)의 표면에 조사하고, 분기된 광의 다른 1개는 참조 미러(107)에 조사하고, 피측정물의 표면에 조사한 광(빔)의 후방 산란광과, 참조 미러로부터의 반사광의 간섭광을 검출함으로써 피측정물의 형상을 측정한다.
摘要（英）：
Light which is the light source 90 is emitted, and the light into parallel light from, that was branched to parallel light into two, the energy density above the optical axis is maximal over a distance of the light 1 branched by the conical lens 104 ( beam) to change from the back scattering light, and the reference mirror of the measured object 105, the light (beam irradiation on the surface, light other one branch is examined to research, and the measured surface of the water to the reference mirror 107) by detecting the interference light of the reflected light of an object to be measured of the measurement geometry.
公开/授权文献:
- KR101233941B1 형상 측정 장치 및 방법 公开/授权日：2013-02-15
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B11/00 | 以采用光学方法为特征的计量设备 |
| --------G01B11/24 | .用于计量轮廓或曲率 |