基本信息:
- 专利标题： 마이크로 렌즈 제조방법
- 专利标题（英）：Method for producing a micro lenz
- 专利标题（中）：MICRO LENZ的制造方法
- 申请号：KR1020030094311 申请日：2003-12-20
- 公开(公告)号：KR1020050062289A 公开(公告)日：2005-06-23
- 发明人： 김종삼 , 김진하 , 이성준 , 이로운 , 홍윤식
- 申请人： 삼성전기주식회사
- 申请人地址： Maeyoung-Ro *** (Maetan-Dong), Youngtong-Gu, Suwon-Si, Gyeonggi-Do, Republic of Korea
- 专利权人： 삼성전기주식회사
- 当前专利权人： 삼성전기주식회사
- 当前专利权人地址： Maeyoung-Ro *** (Maetan-Dong), Youngtong-Gu, Suwon-Si, Gyeonggi-Do, Republic of Korea
- 代理人： 특허법인씨엔에스
- 主分类号： G02B3/02
- IPC分类号： G02B3/02
摘要：
본 발명은 다층의 웨이퍼 기판을 통해 마이크로 비구면 렌즈를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 소정의 식각율을 갖는 제1층을 형성하는 단계; 상기 제1층 상에 제1 층과 식각율이 다른 제2 층을 형성하는 단계; 상기 제2층 상에 식각을 위한 마스크 패턴을 형성하는 단계; 식각율이 서로 다른 제1층과 제2층을 식각하여 비구면의 렌즈 형상을 형성하는 단계;를 포함하는 마이크로 렌즈 제조방법을 제공한다.
摘要（英）：
The invention relates to a method for producing a micro-aspheric lens with a multi-layer substrate of the wafer. The present invention includes the steps of forming a first layer having a predetermined etching rate; The method comprising the first layer and the etch rate on said first layer forming the other second layers; Forming a mask pattern for etching on the second layer; It provides a micro lens manufacturing method comprising the; etching rate of each other to form a lens shape of the aspherical surface by etching the other first layer and the second layer.