基本信息:
- 专利标题： 슬러리 용액 혼합 및 분배 방법과 그 장치
- 专利标题（英）：Process and apparatus for blending and distributing a slurry solution
- 专利标题（中）：浆液混合和分配方法和设备
- 申请号：KR1020037008789 申请日：2001-12-17
- 公开(公告)号：KR1020040012703A 公开(公告)日：2004-02-11
- 发明人： 스나이더데이비드엘 , 우르크하트칼제이 , 스윈델리차드딘
- 申请人： 레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레뜌드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드
- 申请人地址： ** Quai D'Orsay ***** Paris, France
- 专利权人： 레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레뜌드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드
- 当前专利权人： 레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레뜌드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드
- 当前专利权人地址： ** Quai D＇Orsay ***** Paris, France
- 代理人： 이광현; 안성탁; 김성기; 신정건
- 优先权： US09/749,424 2000-12-28; US09/779,470 2001-02-09
- 国际申请： PCT/IB2001/002608 2001-12-17
- 国际公布： WO2002053273 2002-07-11
- 主分类号： B01F15/04
- IPC分类号： B01F15/04
摘要：
본 발명에 따르면, 반도체 용례에 사용되는 산화물 연마재와 그 밖의 성분을 현장에서 혼합하고 분배한다. 혼합 탱크 안으로 개별적으로 들어가는 성분의 중량을 측정하여, 성분을 혼합한다. 일부 성분은 주입 또는 중량에 의해 첨가될 수 있다. 별법으로서, 이렇게 혼합된 산화물 용액을 폐순환 루프에서 피막에 싸인 검정용 토로이드형 코일을 통과시켜 전기 전도성을 측정함으로써, 다양한 농도로 혼합할 수 있다. 이렇게 얻은 전도성의 출력값은 하나 이상의 성분을 첨가하는 데 사용된다.
摘要（英）：
According to the invention, the mix and distribute the oxide abrasive and other components for use in semiconductor applications in the field. By measuring the weight of the individual entering the component into the mixing tank, and mixing the components. Some components may be added by injection or by weight. Alternatively, by passing the thus mixed toroidal coil wrapped black oxide solution in the film in the pulmonary circulation loop by measuring the electrical conductivity, it is possible to blend in various concentrations. To do this the output value of the conductivity obtained is used for the addition of one or more components.
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B01 | 一般的物理或化学的方法或装置 |
| ----B01F | 混合，例如，溶解、乳化、分散 |
| ------B01F15/00 | 混合机附件 |
| --------B01F15/04 | .使被混合物质形成预定比率 |