基本信息:
- 专利标题： 유기물질세정액
- 专利标题（英）：KR950032599A - Organic material washing liquid
- 申请号：KR1019940010604 申请日：1994-05-16
- 公开(公告)号：KR1019950032599A 公开(公告)日：1995-12-22
- 发明人： 윤태호
- 申请人： 윤태호
- 申请人地址： 대전광역시 유성구 엑스포로 ***, ***동 ***호 (전민동, 엑스포아파트)
- 专利权人： 윤태호
- 当前专利权人： 윤태호
- 当前专利权人地址： 대전광역시 유성구 엑스포로 ***, ***동 ***호 (전민동, 엑스포아파트)
- 代理人： 양순석
- 主分类号： C11D7/60
- IPC分类号： C11D7/60
摘要：
본 발명의 유기물질세정액은 유기물질을 이용하는 공정에서 불필요한 유기물질을 제거하기 위한 것으로서, TMAH, IPA,및 DI를 소정비율로 혼합하여 만들어서 사용하는 고순도 유기물질세정액이다.
그리고 조성비를 달리하여 포토레지스트, 폴리머, 스컴(SCUM) 등의 유기물질 제거에 사용할 수 있다.
摘要（英）：
그리고 조성비를 달리하여 포토레지스트, 폴리머, 스컴(SCUM) 등의 유기물질 제거에 사용할 수 있다.
Organic substances cleaning solution of the present invention are as for the removal of unwanted organic materials in the process of using an organic material, TMAH, IPA, and pure organic material using a cleaning liquid by creating a mixture of DI in a predetermined ratio. And by varying the composition ratio may be used to remove organic materials such as photoresist, polymers, scum (SCUM).
公开/授权文献:
- KR100114623B1 유기물질세정액 公开/授权日：1997-04-24
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C11 | 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛 |
| ----C11D | 洗涤剂组合物；用单一物质作为洗涤剂；皂或制皂；树脂皂；甘油的回收 |
| ------C11D7/00 | 主要以非表面活性化合物为基料的洗涤剂组合物 |
| --------C11D7/60 | .非表面活性化合物的混合物皂洗涤剂 |