基本信息:
- 专利标题: 박막 형성 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
- 专利标题(英):DEVICE FOR FORMING THIN LAYER AND MANUFACTURING METHOD OF ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DISPLAY USING THE SAME
- 申请号:KR1020120085987 申请日:2012-08-06
- 公开(公告)号:KR101968664B1 公开(公告)日:2019-08-14
- 发明人: 이상조 , 조성환
- 申请人: 삼성디스플레이 주식회사
- 申请人地址: *, Samsung-ro, Giheung-gu, Yongin-si, Gyeonggi-do, Republic of Korea
- 专利权人: 삼성디스플레이 주식회사
- 当前专利权人: 삼성디스플레이 주식회사
- 当前专利权人地址: *, Samsung-ro, Giheung-gu, Yongin-si, Gyeonggi-do, Republic of Korea
- 代理人: 팬코리아특허법인
- 主分类号: H01L51/56
- IPC分类号: H01L51/56
公开/授权文献:
- KR1020140019625A 박막 형성 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 公开/授权日:2014-02-17