基本信息:
- 专利标题： 펄스형 광 빔의 스펙트럼 특징 추정 방법
- 专利标题（英）：ESTIMATION OF SPECTRAL FEATURE OF PULSED LIGHT BEAM
- 申请号：KR1020167033812 申请日：2015-06-03
- 公开(公告)号：KR101953235B1 公开(公告)日：2019-02-28
- 发明人： 더피토마스패트릭 , 갓프리드해르만필립
- 申请人： 사이머 엘엘씨 , 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
- 申请人地址： ***** Thornmint Court, San Diego, CA *****-****, U.S.A.
- 专利权人： 사이머 엘엘씨,에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
- 当前专利权人： 사이머 엘엘씨,에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
- 当前专利权人地址： ***** Thornmint Court, San Diego, CA *****-****, U.S.A.
- 代理人： 유미특허법인
- 优先权： US62/007,615 2014-06-04; US14/488,684 2014-09-17
- 国际申请： PCT/US2015/034025 2015-06-03
- 国际公布： WO2015187854 2015-12-10
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G01J3/28 ; G01J3/02 ; G01J3/14 ; G01J3/26 ; G01J9/00 ; G01J11/00
公开/授权文献:
- KR1020160147046A 펄스형 광 빔의 스펙트럼 특징 추정 방법 公开/授权日：2016-12-21