基本信息:
- 专利标题： 뜨거운 벽과 차가운 콜렉터 미러를 가진 레이저 산출 플라즈마 극 자외선 챔버용 시스템, 방법 및 장치
- 专利标题（英）：System, method and apparatus for laser produced plasma extreme ultraviolet chamber with hot walls and cold collector mirror
- 专利标题（中）：用于激光生产的等离子体超紫外线室的系统方法和装置，具有热水和冷收集器
- 申请号：KR1020117026585 申请日：2010-03-31
- 公开(公告)号：KR101627586B1 公开(公告)日：2016-06-07
- 发明人： 팔트로윌리암엔. , 포멘코프이고르브이.
- 申请人： 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
- 申请人地址： P.O.Box ***, **** AH Veldhoven, The Netherlands
- 专利权人： 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
- 当前专利权人： 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
- 当前专利权人地址： P.O.Box ***, **** AH Veldhoven, The Netherlands
- 代理人： 유미특허법인
- 优先权： US12/725,167 2010-03-16; US61/168,000 2009-04-09; US61/168,012 2009-04-09; US61/168,033 2009-04-09
- 国际申请： PCT/US2010/029441 2010-03-31
- 国际公布： WO2010117859 2010-10-14
- 主分类号： H05G2/00
- IPC分类号： H05G2/00 ; H01L21/027 ; G01J1/42
摘要：
콜렉터미러, 상기콜렉터미러의반사표면을냉각시키도록동작하는콜렉터미러의배면에결합된냉각시스템, 및극 자외광챔버에결합된버퍼가스소스를포함하는것을특징으로하는극 자외광챔버용시스템및 방법이제공된다.
摘要（英）：
The collector mirror, the system for extreme ultraviolet radiation chamber characterized in that it comprises a buffer gas source coupled to the cooling system, and polar UV light chamber coupled to the back surface of the collector mirror operative to cool the reflecting surface of the collector mirror and this method is provided.
公开/授权文献:
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H05 | 其他类目不包含的电技术 |
| ----H05G | X射线技术 |
| ------H05G2/00 | 没有X射线管的、专用于产生X射线的设备或方法，如有等离子产生 |