基本信息:
- 专利标题： 실린더 유닛 및 그것을 구비한 리프트 핀 어셈블리
- 专利标题（英）：cylinder unit and lift pin assembly having the same
- 专利标题（中）：气缸单元和提升销组件
- 申请号：KR1020130158529 申请日：2013-12-18
- 公开(公告)号：KR101517488B1 公开(公告)日：2015-05-15
- 发明人： 김현표
- 申请人： 피에스케이 주식회사
- 申请人地址： 경기도 화성시 삼성*로*길 ** (석우동)
- 专利权人： 피에스케이 주식회사
- 当前专利权人： 피에스케이 주식회사
- 当前专利权人地址： 경기도 화성시 삼성*로*길 ** (석우동)
- 代理人： 권혁수; 송윤호
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683 ; F15B15/24
摘要：
본발명은리프트핀 어셈블리를제공한다. 본발명에따른리프트핀 어셈블리는리프트핀들; 상기리프트핀들이설치되는지지부재; 상기지지부재를승강시키는실린더유닛를포함하되; 상기실린더유닛는중공의실린더본체; 상기실린더본체내에서전진이동과후진이동이가능하게설치되는피스톤; 상기실린더본체내에설치되고, 상기피스톤의전후이동거리를조정하는피스톤이동조정부재를포함한다.
摘要（中）：
本发明提供一种提升销组件。 根据本发明，提升销组件包括：提升销; 支撑构件，其中提升销被安装; 以及提升支撑构件的气缸单元。 气缸单元包括：中空圆筒主体; 安装在气缸主体内的活塞能够向前和向后移动; 以及安装在所述气缸主体内的活塞运动调节构件，并且调节所述活塞的前后运动的距离。
摘要（英）：
The present invention provides a lift pin assembly. The lift pin assembly according to the invention the lift pins; The support members of the lift pins are installed; It comprises a cylinder for lifting the unit to the support member; The cylinder body of the cylinder yunitneun hollow; Piston which is rotatably installed to move forward and backward movement in the cylinder body; Provided within the cylinder body, a piston moves back and forth adjustment member for adjusting the movement distance of the piston.