基本信息:
- 专利标题: 검사 장치
- 专利标题(英):Apparatus for inspecting
- 专利标题(中):检查装置
- 申请号:KR1020130047421 申请日:2013-04-29
- 公开(公告)号:KR101490457B1 公开(公告)日:2015-02-10
- 发明人: 고국원
- 申请人: 선문대학교 산학협력단
- 申请人地址: 충청남도 아산시 탕정면 선문로***번길 ** (선문대학교)
- 专利权人: 선문대학교 산학협력단
- 当前专利权人: 선문대학교 산학협력단
- 当前专利权人地址: 충청남도 아산시 탕정면 선문로***번길 ** (선문대학교)
- 代理人: 특허법인 태웅
- 主分类号: G01B11/30
- IPC分类号: G01B11/30 ; G01B11/24
摘要:
본 발명의 검사 장치는 검사체의 표면에 대해 서로 다른 초점 거리를 갖는 복수의 광(光)을 투사하는 투사부 및 상기 검사체에서 반사된 광으로 상기 검사체의 표면을 검사하는 검사부를 포함하고, 상기 투사부에는 상기 광을 투사하는 복수의 렌즈가 마련되며, 상기 각 렌즈의 곡률은 서로 다르고, 상기 곡률의 차이로 상기 초점 거리가 달라짐으로써, 검사체 표면의 굴곡을 고속으로 신뢰성 있게 측정할 수 있다.
摘要(英):
Inspection device of the invention comprises a checking unit for checking the projection section and the surface of the test body by the light reflected from the test element for projecting a plurality of light (光) having a different focal distance to the surface of the test body the projecting section is provided with a plurality of lenses for projecting the light, wherein the curvature of each lens are different from each other, by which the focal length varies by the difference of the curvature, to reliably measure the curvature of the test body surface at a high speed can.
公开/授权文献:
- KR1020140128690A 검사 장치 公开/授权日:2014-11-06
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
G | 物理 |
--G01 | 测量;测试 |
----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量 |
------G01B11/00 | 以采用光学方法为特征的计量设备 |
--------G01B11/30 | .用于计量表面的粗糙度和不规则性 |