基本信息:
- 专利标题: 잉곳 슬라이싱용 프렛바, 그 프렛바를 첩착한 잉곳, 및 그 프렛바를 사용한 잉곳의 절단 방법
- 专利标题(英):Fret bar for ingot slicing, ingot to which fret bar is stuck, and ingot cutting method using fret bar
- 专利标题(中):用于成品切片的FRET棒,以及FRET棒的保鲜盒,以及使用FRET棒的切割方法
- 申请号:KR1020117001290 申请日:2008-07-24
- 公开(公告)号:KR101486115B1 公开(公告)日:2015-01-23
- 发明人: 고바야시마사히토 , 시마오카게이이치
- 申请人: 시나노 덴기 세이렌 가부시끼가이샤
- 申请人地址: *-*, Kanda-kaji-cho *-chome, Chiyoda-ku, Tokyo JAPAN
- 专利权人: 시나노 덴기 세이렌 가부시끼가이샤
- 当前专利权人: 시나노 덴기 세이렌 가부시끼가이샤
- 当前专利权人地址: *-*, Kanda-kaji-cho *-chome, Chiyoda-ku, Tokyo JAPAN
- 代理人: 특허법인코리아나
- 优先权: WOPCT/JP2008/061262 2008-06-19
- 国际申请: PCT/JP2008/063274 2008-07-24
- 国际公布: WO2009153887 2009-12-23
- 主分类号: B28D5/04
- IPC分类号: B28D5/04 ; B24B27/06 ; H01L21/304
摘要:
(과제) 멀티 와이어쏘를 이용하여 잉곳을 절단할 때, 얻어지는 웨이퍼 사이에서의 두께의 편차를 억제하고, 절단시의 재료 손실을 감소시켜 재료의 이용 효율을 향상시킴과 함께, 슬라이싱에 필요한 시간을 단축시켜 작업 효율을 향상시킨다.
(해결 수단) 멀티 와이어쏘에 의한 잉곳의 절단시에, 절단 개시시에 절단 홈을 형성시키기 위해, 잉곳 표면의 일부에, 잉곳의 길이 방향을 따라 첩착시키는 주상체인 것을 특징으로 하는 잉곳 슬라이싱용 프렛바를 사용한다.
摘要(中):
(해결 수단) 멀티 와이어쏘에 의한 잉곳의 절단시에, 절단 개시시에 절단 홈을 형성시키기 위해, 잉곳 표면의 일부에, 잉곳의 길이 방향을 따라 첩착시키는 주상체인 것을 특징으로 하는 잉곳 슬라이싱용 프렛바를 사용한다.
[问题]在使用多线锯切割锭时,通过减少要获得的晶片之间的厚度变化来提高材料使用效率,从而减少切割中的材料损失,并通过缩短切片所需的时间来提高工作效率。 [解决问题的手段]在通过多线锯切割锭时,使用用于锭切割的锭子,以便在切割开始时形成切口。 用于锭块切割的冲击棒的特征在于沿着锭的长度方向将一个柱状体粘附到锭的表面的一部分。
摘要(英):
(Tasks) Multi-wire when cutting an ingot using a saw, suppress a variation in thickness among the resulting wafer, to reduce the material loss at the time of cutting with the use efficiency of the material and improve Sikkim, the time required for slicing to improve the operation efficiency by shortening.
(Solving means) at the time of cutting of the ingot by multi-wire saw, fret for in order to form the cutting groove during the cutting starts, the portion of the ingot surface, the ingot slicing, characterized in that the main phase chain that adhered in the longitudinal direction of the ingot use bar.
公开/授权文献:
- KR1020110019437A 잉곳 슬라이싱용 프렛바, 그 프렛바를 첩착한 잉곳, 및 그 프렛바를 사용한 잉곳의 절단 방법 公开/授权日:2011-02-25
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
B | 作业;运输 |
--B28 | 加工水泥、黏土或石料 |
----B28D | 加工石头或类似石头的材料 |
------B28D5/00 | 宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工,例如半导体材料的精加工;所用设备 |
--------B28D5/04 | .用非旋转式工具的,例如往复式工具 |